[发明专利]高纯度二氧化硅的制备方法在审

专利信息
申请号: 201611188310.6 申请日: 2016-12-20
公开(公告)号: CN108203096A 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 青岛祥智电子技术有限公司
主分类号: C01B33/12 分类号: C01B33/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266100 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 高纯度二氧化硅 氟硅酸铵 高纯度 制备 氨水 二氧化硅沉淀 二氧化硅粉体 四氟化硅气体 操作工艺 固液分离 生产过程 四氟化硅 无污染物 原料成本 蒸发结晶 氟化铵 硅藻土 热分解 粉体 高纯 洗涤 沉淀 过滤
【说明书】:

发明公开了一种高纯度二氧化硅的方法,其以硅藻土为原料,与氟化铵水溶液在一定温度下反应,经过沉淀、过滤、离心得到氟硅酸铵溶液;通过蒸发结晶得到高纯度氟硅酸铵固体;高纯度氟硅酸铵固体通过热分解得到高纯四氟化硅;四氟化硅气体与高纯度氨水反应,生成二氧化硅沉淀,通过固液分离、洗涤、真空干燥,制备出高纯度二氧化硅粉体。该方法原料成本较低、操作工艺简单、生产过程中无污染物产生且制备的二氧化硅粉体纯度大于6N。

技术领域

本发明涉及无机化工原料制备领域,特别是涉及一种高纯度二氧化硅的制备方法。

背景技术

高纯度二氧化硅(5N以上)(N代表小数点后9的位数,如:5N表示纯度为99.99999%)是多晶硅、光电子工业等行业不可缺少的重要基础材料,也是应用日益广泛的高新技术材料。

传统的生产高纯度二氧化硅的方法主要有:硅石精制法、气相合成法(干法)和沉淀法(湿法)等。硅石精制法是采用天然的纯度很高的石英、硅石通过精制得到高纯二氧化硅。此方法受制于原料的限制,不仅数量有限,而且质量上也难以满足高新材料领域的要求。气相法以硅的卤化物或硅醇为原料,价格较高,且有可燃性、强腐蚀性,对生产装置要求高、投资大,生产成本高,不适宜大规模生产。沉淀法通常以硅酸钠或氟硅酸铵为原料,价格较低,操作相对安全,但是提纯的难度较大,产品品质易受原料纯度的影响,生产过程有污染物排放。

发明内容

本发明的目的是提供一种原料成本低廉、操作工艺简单且生产过程无污染物排放的高纯度二氧化硅的制备方法。

为此,本发明的技术方案如下:

一种高纯度二氧化硅的制备方法,包括以下步骤:

1)硅藻土和氟化铵水溶液在80~90℃下反应生成氟硅酸铵溶液和氨气,所述氟硅酸铵溶液经过滤、离心提纯后除去杂质;所述氨气经纯水吸收,制成高纯氨水;

2)将初步提纯后的氟硅酸铵溶液经过多次蒸发结晶实现固液分离,然后通过洗涤得到高纯度氟硅酸铵固体,所述高纯度氟硅酸铵固体纯度最好不低于4N;

3)将所述高纯度氟硅酸铵固体加热到100~150℃,使其分解生成四氟化硅气体和氟化铵气体;

4)将所述四氟化硅和氟化铵气体导入到反应设备中,使其与高纯氨水进行氨解反应,生成二氧化硅沉淀;

5)将所述二氧化硅沉淀通过高速离心脱水、洗涤和真空干燥,得到纯度大于6N高纯度二氧化硅粉体。

在上述的步骤2)中,将所述提纯后的氟硅酸铵溶液放入三效蒸发结晶器中,经过三次蒸发结晶实现固液分离;在上述的步骤3)中,将所述高纯度氟硅酸铵固体放入热分解反应器中加热分解。所述硅藻土中SiO 2的含量为95%左右。

本发明的方法原料成本较低、操作工艺简单,生产过程产生的氨气被水吸收,所以无污染物产生。用该方法制备的二氧化硅粉体纯度大于6N,所以能够满足高新技术材料对其纯度的要求。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明的方法进行详细说明。

本发明的方法以硅藻土(SiO 2含量约为95wt%)为原料,用氟化铵水溶液在一定温度下溶解、反应,经过沉淀、过滤、离心得到氟硅酸铵溶液;通过蒸发结晶得到高纯度氟硅酸铵固体;高纯度氟硅酸铵固体通过热分解得到高纯四氟化硅;四氟化硅气体与高纯度氨水反应,生成二氧化硅沉淀,通过固液分离、洗涤、真空干燥,制备出高纯度二氧化硅粉体。在此过程中,高纯氨水由第一步反应得到,最后一步反应生成二氧化硅和氟化铵,氟化铵可继续循环使用。

实施例1

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