[发明专利]掩膜板自动清洗系统及方法

权利要求书

1.一种掩膜板自动清洗系统，其特征在于，包括：

曝光机控制端，与对应的曝光机相连接，用于控制所述曝光机的曝光制程、以及监控曝光机内每一掩膜板的使用次数；

清洗装置，用以清洗所述掩膜板；

主控装置，连接至所述曝光机控制端与所述清洗装置，所述主控装置根据每一所述曝光机中即将使用的掩膜板信息控制所述清洗装置提前清洗即将使用的掩膜板，并在监测到所述曝光机中的掩膜板的使用次数达到一预设次数时，自动发出掩膜板清洗提醒，以提醒现场操作人员及时进行清洗作业。

2.如权利要求1所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述曝光机控制端，还用于将与所述曝光机控制端连接的曝光机中即将使用的掩膜板信息发送至所述主控装置；

所述主控装置，还用于根据所述曝光机控制端发送的掩膜板信息控制所述清洗装置提前清洗所述即将使用的掩膜板。

3.如权利要求1所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述掩膜板自动清洗系统还包括中转器，所述曝光机控制端通过所述中转器与所述主控装置连接，用以建立所述主控装置与所述曝光机控制端之间的通信连接。

4.如权利要求3所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述中转器为一集线器。

5.如权利要求1-4任一项所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述掩膜板自动清洗系统还包括存储柜和连接至所述主控装置的计时器；

所述存储柜，用于存储掩膜板；

所述计时器设置于所述存储柜中，用以统计所述存储柜中每一掩膜板的存放时长。

6.如权利要求5所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述存储柜为所述清洗装置附带的存储柜，或者所述存储柜与所述清洗装置分别单独设置。

7.如权利要求6所述的掩膜板自动清洗系统，其特征在于，所述清洗装置包括一分别连接至所述主控装置以及所述计时器的清洗控制端；

所述主控装置，还用于根据所述计时器的计时值，判断存储柜中是否有掩膜板需要清洗，并在所述存储柜中有掩膜板需要清洗时，通过所述清洗控制端向清洗装置发送清洗指令，所述清洗指令包括待清洗掩膜板的掩膜板信息；

所述清洗装置，还用于根据所述指令对相应的掩膜板进行清洗作业。

8.一种掩膜板自动清洗方法，其特征在于，所述掩膜板自动清洗方法应用于如权利要求1-7任一项所述的掩膜板自动清洗系统，所述掩膜板自动清洗方法包括以下步骤：

曝光机控制端实时监控曝光机中的掩膜板的使用次数；

当曝光机中的掩膜板的使用次数达到预设次数时，主控装置自动发出掩膜板清洗提醒，以提醒现场操作人员及时进行清洗作业；以及

所述主控装置还根据接收到的每一所述曝光机中即将使用的掩膜板信息，控制所述清洗装置提前清洗所述即将使用的掩膜板。

9.如权利要求8所述的掩膜板自动清洗方法，其特征在于，还包括以下步骤；

计时器监控存储柜中各掩膜板的存储时长；

当存储时长超过预设时长时，清洗控制端控制所述清洗装置及时清洗所述存储超时的掩膜板。

10.如权利要求8所述的掩膜板自动清洗方法，其特征在于，所述主控装置还根据接收到的每一所述曝光机中即将使用的掩膜板信息，控制所述清洗装置提前清洗所述即将使用的掩膜板这一步骤之前还包括以下步骤：

所述曝光机控制端将与所述曝光机控制端连接的曝光机中即将使用的掩膜板信息发送至所述主控装置。