[发明专利]适用于柔性基板的热真空干燥装置

说明书

本发明提供一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，通过将热真空干燥装置内的第一支撑销(5)、第二支撑销(6)均分别改进为镶嵌结构或层套结构，能够加速热传导，使得基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的接触部分、及基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的非接触部分之间的温差减小、受热均匀，从而减少由支撑销引起的支撑痕迹，并允许适当增加中间区域的支撑销数量，减轻因基板下垂引起的膜厚不均现象。

技术领域

本发明涉及显示器件制程领域，尤其涉及一种适用于柔性基板的热真空干燥装置。

背景技术

有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为最有发展潜力。

柔性显示是未来OLED发展的大方向。柔性基板制作，是制作柔性OLED的前制程，直接关联和影响到后续整个柔性OLED制程的品质。柔性基板制作，主要用到的有机涂布材料是液态聚酰亚胺酰胺酸(Polyimide Amic Acid，PAA)(业界一般称为PI Solution，简称PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate，PET)和聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN Polyethylene Naphthalate，PEN)等，PI使用比较广泛。柔性基板制作基本流程依次包括：基板清洗→有机材料涂布→热真空干燥(HVCD process)→烘烤→光学检测→修复等。热真空干燥制程主要是使用热真空干燥装置抽真空降低密封腔室压力，辅助加热，加速PI等有机材料药液所含溶剂的蒸发速度，去除PI等有机材料药液的溶剂成分，达到预固化有机材料、缩短后续烘烤制程时间的效果。

如图1与图2所示，适用于柔性基板的热真空干燥装置包括一密封腔室1’、固定在所述密封腔室1’下部的下加热板2’、固定在所述密封腔室1’上部的上加热板3’、设于所述密封腔室1’下方的升降器4’、固定于所述升降器4’并穿过密封腔室1’底板与下加热板2’受升降器4’驱动而升降的数个第一支撑销(Support Pin)5’、以及固定在所述下加热板2’上的数个第二支撑销6’。

在热真空干燥制程中，使用第一支撑销5’或第二支撑销6’支撑涂覆有有机材料药液的基板7’置于下加热板2’与上加热板3’之间进行烘烤，所述第一支撑销5’控制基板7’和下加热板2’的距离，所述第二支撑销6’的上端与下加热板2’的距离约0.3mm，不可调整。如图3、与图4所示，现有的第一支撑销5’与第二支撑销6’均为整体式的实心圆柱销。

因基板7’底面与第一支撑销5’或第二支撑销6’的接触部分受到相应支撑销的物理阻挡作用，下加热板2’对基板7’底面与支撑销接触部分、底面与支撑销非接触部分的加热程度不一致，引起温度差，导致这两个区域的有机材料预固化程度不一致、膜厚不均，产生色泽不均，引起支撑痕迹(Pin Mura)。另外，为避免支撑销数量多而引起支撑痕迹数量的增加，一般现有热真空干燥装置减少了支撑销的数量，尤其是减少了中间区域的支撑销数量，从而加剧了周边支撑销对基板7’的承重作用，故涂覆有有机材料药液的基板7’的下垂量加大，有机材料药液也因重力作用向基板7’下垂的中心流动，造成膜厚更加不均，加剧了支撑痕迹的严重程度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，能够使得涂覆有有机材料药液的基板底面与支撑销接触部分、及基板底面与支撑销非接触部分的受热较均匀，减少支撑痕迹，减轻膜厚不均现象。

为实现上述目的，本发明提供一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，包括一密封腔室、固定在所述密封腔室下部的下加热板、固定在所述密封腔室上部的上加热板、设于所述密封腔室下方的升降器、固定于所述升降器并受升降器驱动而升降的数个第一支撑销、以及固定在所述下加热板上的数个第二支撑销；