[发明专利]一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片

权利要求书

1.一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，包括外围支撑硅基(1)，其特征在于：外围支撑硅基(1)的中部设有两组相对的成阵列布置的硅膜(2)，每一组有四个硅膜(2)，每一硅膜(2)和外围支撑硅基(1)之间通过一个硅悬臂梁(3)相连，每一硅悬臂梁(3)上配置有压阻条(4)，每一组硅悬臂梁(3)的四个压阻条(4)通过引线连接构成惠斯通电桥，硅膜(2)与硅悬臂梁(3)组成的阵列悬臂梁膜结构构成传感器测量部位；

所述的硅膜(2)与外围支撑硅基(1)存在间隙以使硅膜(2)悬空，每一组相邻的硅膜(2)之间存在间隙，使流体顺利通过；

所述的硅膜(2)厚度与硅悬臂梁(3)厚度相同，硅悬臂梁(3)宽度小于硅膜(2)宽度，实现应力集中；

所述的硅悬臂梁(3)采用了(100)晶面硅。

2.根据权利要求1所述的一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，其特征在于：所述的压阻条(4)沿着和[110]晶向布置在硅悬臂梁(3)上。

3.根据权利要求1所述的一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，其特征在于：所述的硅微流量传感器芯片采用250um厚(100)晶面N型双面抛光硅片制作。