[发明专利]激光钻孔对准度的监控方法在审
| 申请号： | 201611204427.9 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106714457A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张金才;陈志新;罗新权 | 申请（专利权）人： | 奥士康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司44260 | 代理人： | 王翀 |
| 地址： | 413000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 钻孔 对准 监控 方法 | ||
【权利要求书】：
1.激光钻孔对准度的监控方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)根据激光钻孔Target Pad Ring大小计算对准度监控大小，计算公式：对准度监控＝(Target Pad Ring-Target层补偿)/0.5；
(2)测试方法：计算出激光钻孔对准度监控值后，电测治具下测试针至对应Pad上；
(3)判定方法：若测试出来为OPEN，则该对准度OK；若测试出来为SHORT，则该对准度NG。
2.根据权利要求1所述的激光钻孔对准度的监控方法，其特征在于，步骤(1)中，Target层补偿，是根据线路蚀刻线的蚀刻因子，以及蚀刻能力而确定的。
3.根据权利要求1或2所述的激光钻孔对准度的监控方法，其特征在于，步骤(2)中，测试方法和原理参照“四线飞针”测试。
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