[发明专利]锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器

说明书

本发明公开了一种锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器。它包括基底层、二氧化硅层、右侧矩形二硫化钼薄膜、右侧锯齿形二硫化钼薄膜、中间锯齿形二硫化钼薄膜、左侧锯齿形二硫化钼薄膜、左上矩形二硫化钼薄膜、左下矩形二硫化钼薄膜、信号输入端、第一信号输出端、第二信号输出端；当无外加电压时，太赫兹信号从信号输入端输入，从信号第一输出端输出，当在二硫化钼薄膜与基底层之间添置偏置直流电压时，可以通过改变偏置电压实现调节二硫化钼薄膜的有效介电常数，使太赫兹信号从信号输入端输入，从第二信号输出端输出，实现太赫兹信号的可调滤波效果。本发明具有结构简单紧凑，尺寸小，响应快，设计原理简单等优点。

技术领域

本发明涉及太赫兹波滤波器，尤其涉及一种锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器。

背景技术

滤波器是一种选频装置,具有选频、分频、抑制干扰等作用,按其作用可分为带通滤波器、带阻滤波器等。太赫兹滤波器作为太赫兹光功能器件中的热门研究方向，原因是太赫兹滤波器是太赫兹通讯、成像系统的重要功能部件之一，太赫兹技术的迅速发展，使得人们对太赫兹波功能器件的需求越来越大，因此，太赫兹波滤波器在实际中有重要的应用。

随着科研工作者对太赫兹的深入研究，近年来陆续被提出基于多种材料的太赫兹滤波器的具体实现结构，极大地促进了应用于太赫兹领域的滤波器的研究。当前国内外研究的并提出过的太赫兹波滤波器结构主要基于光子晶体、超材料等结构，这些结构往往很复杂，而且在实际制作过程中困难重重，成本较高，对加工工艺和加工环境要求也高。所以迫切需要提出结构简单、尺寸小、便于加工制作的太赫兹波滤波器来支撑太赫兹波应用领域的发展。而二硫化钼薄膜材料凭借其在太赫兹频段的独特性质，单元结构的设计种类越来越多样化，越来越多的谐振响应特性和关联参数被发现，为该频段光功能器件的研究提供了新的解决方法。

发明内容

本发明为了克服现有技术不足，提供一种结构简单、滤波性能高的锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器包括基底层、二氧化硅层、右侧矩形二硫化钼薄膜、右侧锯齿形二硫化钼薄膜、中间锯齿形二硫化钼薄膜、左侧锯齿形二硫化钼薄膜、左上矩形二硫化钼薄膜、左下矩形二硫化钼薄膜、信号输入端、第一信号输出端、第二信号输出端；基底层的上层为二氧化硅层，二氧化硅层的上层铺有右侧矩形二硫化钼薄膜、右侧锯齿形二硫化钼薄膜、中间锯齿形二硫化钼薄膜、左侧锯齿形二硫化钼薄膜、左上矩形二硫化钼薄膜、左下矩形二硫化钼薄膜，右侧锯齿形二硫化钼薄膜、中间锯齿形二硫化钼薄膜和左侧锯齿形二硫化钼薄膜自右向左顺序排列，右侧锯齿形二硫化钼薄膜和左侧锯齿形二硫化钼薄膜上下两侧均等距离分布三个形状大小相同的矩形开槽，中间锯齿形二硫化钼薄膜上下各等距离分布四个形状大小相同的矩形开槽，右侧锯齿形二硫化钼薄膜的右端与右侧矩形二硫化钼薄膜的左端相连，左侧锯齿形二硫化钼薄膜的左端与左上矩形二硫化钼薄膜和左下矩形二硫化钼薄膜的右端相连，右侧矩形二硫化钼薄膜的右端与二氧化硅层的右端相连，左上矩形二硫化钼薄膜和左下矩形二硫化钼薄膜的左端与二氧化硅层的左端相连，右侧矩形二硫化钼薄膜的右端设有第一信号输出端，左上矩形二硫化钼薄膜的左端设有信号输入端，左下矩形二硫化钼薄膜的左端设有第二信号输出端；在二硫化钼薄膜与基底层之间加载偏置直流电压，可以通过改变偏置电压实现调节二硫化钼薄膜的有效介电常数，使太赫兹信号从信号输入端输入，调节从第二信号输出端输出的太赫兹频率。