[发明专利]掩膜板本体、掩膜板及其制作方法

权利要求书

1.一种掩膜板本体，包括至少一个掩膜区和环绕在所述掩膜区周围的非掩膜区，其特征在于，所述掩膜板本体沿预设拉伸方向延伸的边缘的对应于所述掩膜区的部分设置为弯曲部；从所述弯曲部的至少一端至所述弯曲部的中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区沿所述预设拉伸方向延伸的边缘；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向或宽度方向。

2.根据权利要求1所述的掩膜板本体，其特征在于，从所述弯曲部的两端至中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区。

3.根据权利要求2所述的掩膜板本体，其特征在于，所述弯曲部为弧形。

4.根据权利要求2所述的掩膜板本体，其特征在于，所述掩膜区沿所述预设拉伸方向的尺寸在100mm～120mm之间；

所述弯曲部的两端到所述掩膜区的距离与所述弯曲部的中部到所述掩膜区的距离之间的差值均在[140L，160L]μm内，所述弯曲部的中部到所述掩膜区的距离在380μm～420μm之间；

其中，L为与所述掩膜板本体对应的参考掩膜板本体在受到所述预设拉伸方向上的拉伸时，所述参考掩膜板本体的边缘中部朝向所述参考掩膜板本体内部收缩的值。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的掩膜板本体，其特征在于，所述掩膜板本体的长度在800mm～900mm之间，宽度在80mm～100mm之间，厚度在20μm～40μm之间；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的掩膜板本体，其特征在于，制成所述掩膜板本体的材料包括殷钢。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的掩膜板本体，其特征在于，沿所述预设拉伸方向，所述掩膜板本体位于所有掩膜区所在区域的两侧的部分中，每部分均包括：两个沿所述预设拉伸方向延伸的延伸部以及连接在两个所述延伸部之间的连接部，所述连接部与所述延伸部靠近所述掩膜区的一端相连。

8.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：

提供掩膜板本体，所述掩膜板本体为权利要求1至7中任意一项所述的掩膜板本体；

在所述掩膜板本体沿所述预设拉伸方向的两端分别施加沿所述预设拉伸方向、且朝向所述掩膜板本体外部的拉力。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，施加在所述掩膜板本体每一端的拉力均由1N～3N逐渐增大至8N～12N。

10.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，当所述掩膜板本体包括沿所述预设拉伸方向延伸的延伸部时，所述拉力施加在所述延伸部背离所述掩膜区的一端。

11.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括权利要求1至7中任意一项所述的掩膜板本体。