[发明专利]掩膜板本体、掩膜板及其制作方法

说明书

本发明提供一种掩膜板本体，包括至少一个掩膜区和环绕在所述掩膜区周围的非掩膜区，所述掩膜板本体沿预设拉伸方向延伸的边缘的对应于所述掩膜区的部分设置为弯曲部；从所述弯曲部的至少一端至所述弯曲部的中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区沿所述预设拉伸方向延伸的边缘；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向或宽度方向。相应地，本发明还提供一种掩膜板及其制作方法。本发明能够改善掩膜板的掩膜区两侧的褶皱现象。

技术领域

本发明涉及显示装置的生产领域，具体涉及一种掩膜板本体、掩膜板及其制作方法。

背景技术

目前，OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示器在量产时主要采用精细金属掩膜(Fine Metal Mask，FMM)方式形成彩色显示器，具体是通过蒸镀方式将有机发光材料按照预定程序蒸镀到显示背板上，利用掩膜板上的图形，使得各种颜色的有机材料蒸镀到相应的位置上。为此，需要先制作掩膜板。

由于掩膜板的厚度很薄，因此，在掩膜板的制作过程中，在掩膜板本体上形成掩膜区后，通常会在掩膜板本体的两端施加拉力(如图1所示)以对其进行拉伸，从而使拉伸后的掩膜板本体产生一定强度并保持形状的稳定。但是，由于掩膜区M与其两侧的非掩膜区的厚度不同，因此，在拉伸时，掩膜板本体的边缘发生内缩，从而导致拉伸后的掩膜板本体的非掩膜区形成褶皱，越靠近沿拉伸方向的中部，褶皱现象越明显。图2为图1中掩膜板本体受到拉伸后的AA’截面的褶皱状态示意图，图2中曲线的两个凸起处表示掩膜区两侧部分的褶皱较明显，两个凸起处之间的平坦处表示掩膜区较平坦。当这些产生褶皱的掩膜板投入生产时，将会影响产品良率。

因此，如何改善掩膜板的褶皱现象成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板本体、掩膜板及其制作方法，以改善掩膜板的褶皱现象。

为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种掩膜板本体，包括至少一个掩膜区和环绕在所述掩膜区周围的非掩膜区，所述掩膜板本体沿预设拉伸方向延伸的边缘的对应于所述掩膜区的部分设置为弯曲部，从所述弯曲部的至少一端至所述弯曲部的中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区沿所述预设拉伸方向延伸的边缘；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向或宽度方向。

优选地，从所述弯曲部的两端至中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区。

优选地，所述弯曲部为弧形。

优选地，所述掩膜区沿所述预设拉伸方向的尺寸在100mm～120mm之间；

所述弯曲部的两端到所述掩膜区的距离与所述弯曲部的中部到所述掩膜区的距离之间的差值均在[140L，160L]μm内，所述弯曲部的中部到所述掩膜区的距离在380μm～420μm之间；

其中，L为与所述掩膜板本体对应的参考掩膜板本体在受到所述预设拉伸方向上的拉伸时，所述参考掩膜板本体的边缘中部朝向所述参考掩膜板本体内部收缩的值。

优选地，所述掩膜板本体的长度在800mm～900mm之间，宽度在80mm～100mm之间，厚度在20μm～40μm之间；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向。

优选地，制成所述掩膜板本体的材料包括殷钢。

优选地，沿所述预设拉伸方向，所述掩膜板本体位于所有掩膜区所在区域的两侧的部分中，每部分均包括：两个沿所述预设拉伸方向延伸的延伸部以及连接在两个所述延伸部之间的连接部，所述连接部与所述延伸部靠近所述掩膜区的一端相连。

相应地，本发明还提供一种掩膜板的制作方法，包括：

提供掩膜板本体，所述掩膜板本体为本发明提供的上述掩膜板本体；