[发明专利]一种手动输送硅片机构

权利要求书

1.一种手动输送硅片机构，其特征在于，包括支座、滑动单元、滚动单元、硅片承载桶和手柄，所述支座上设有所述滑动单元，所述滑动单元固定连接所述手柄，所述滑动单元上设有所述滚动单元，所述滚动单元上设有所述硅片承载桶；所述滚动单元包括沿输送方向间隔设置在所述滑动单元上的多个滚轮组件。

2.根据权利要求1所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述滑动单元包括对称布置在所述支座两侧的两条直线导轨和与所述直线导轨配合的滑块，所述支座两侧的所述滑块通过连接板连接，所述连接板固定连接所述手柄。

3.根据权利要求2所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述滚动单元还包括对称布置在所述支座两侧的两个U型板，多个所述滚轮组件间隔设置在所述U型板上，所述U型板的底板设置在所述连接板上，所述滚轮组件的两端分别连接所述U型板的两个侧板。

4.根据权利要求3所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述滚轮组件包括中心轴、滚柱轴承和外壳，所述中心轴通过所述滚柱轴承连接所述外壳，所述中心轴的两端分别连接所述U型板的两个侧板。

5.根据权利要求3所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述连接板与所述U型板之间设有楔形块，两个所述U型板在所述滑动单元上呈V型设置。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述支座上设有定位装置，用以对所述硅片承载桶进行定位。

7.根据权利要求6所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述定位装置包括设置在所述支座上的U型基座、定位轴、弹簧以及用以抵住所述硅片承载桶端面的旋转板，所述旋转板可转动的连接在所述定位轴上，所述定位轴的两端分别穿设在所述U型基座的内侧板和外侧板上，所述定位轴上在旋转板与U型基座外侧板之间位置设有所述弹簧。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述支座的底部设有地脚。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述硅片承载桶为圆柱桶，所述圆柱桶的材料为SiC。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的手动输送硅片机构，其特征在于，所述支座由不锈钢材料焊接而成。