[发明专利]一种氮化铝的制备方法有效
申请号: | 201611224558.3 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN108238801B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 徐金田;沈一春;庄卫星;张贤根;赵海伦 | 申请(专利权)人: | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B21/072 | 分类号: | C01B21/072 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 唐芳芳 |
地址: | 226009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 制备 方法 | ||
1.一种氮化铝的制备方法,制备步骤包括:
通过粉体称重系统控制铝粉落料速度;
使用氩气为等离子系统点火,系统稳定后将点火气氩气切换为反应气氮气,所述等离子系统通过无极放电形成氮气等离子;
所述氮气等离子与所述铝粉的反应装置为等离子球化炉,开启等离子球化炉的真空系统,所述等离子球化炉的压强在0.3~1pa之间;所述等离子系统功率维持在30KW~45KW之间;
将所述氮气等离子与所述铝粉充分反应,生成氮化铝微粒子;所述等离子球化炉外层设有冷却水,所述氮化铝微粒子经过所述等离子球化炉冷却,迅速收缩凝结成球状颗粒;经过粗粉分离装置获得球状纳米级氮化铝粉末和大颗粒产物,所述氮化铝粉末收容于粉末收集装置,所述大颗粒产物沉积到所述等离子球化炉底部。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述粉体称重系统的铝粉落料速度控制在5KG/h~10KG/h之间。
3.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于:所述粉体称重系统的铝粉落料速度控制在6.5KG/h~7.5KG/h之间。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述等离子系统功率维持在30KW~45KW之间时,等离子火焰长度控制100mm~180mm之间。
5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述等离子系统功率维持在35KW~40KW之间时,等离子火焰长度控制130mm~150mm之间。
6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述粗粉分离装置采用旋风分离装置。
7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于:所述粗粉分离装置过滤的颗粒可作为生产原料放入所述粉体称重系统中进行二次生产。
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