[发明专利]X射线分析装置

权利要求书

1.一种X射线分析装置，其特征在于，包括：

装置主体部，其在内部配置有X射线管、检测器和光阑，并在测定时在上表面的开口部载置有试样；以及

保护外壳，其能够移动至覆盖所述开口部的测定状态和开放所述开口部的非测定状态，

所述X射线管具有：框体，其形成有出射窗口；阳极，其端面被配置在所述框体的内部；以及阴极，其被配置于所述框体的内部，在所述阳极的端面产生的X射线从框体的出射窗口出射，

所述检测器检测通过向所述试样照射X射线而在所述试样上产生的X射线的强度，

所述光阑在所述非测定状态时被配置于所述X射线管的出射窗口的前方，另一方面，在所述测定状态时被从所述X射线管的出射窗口的前方移除，

所述X射线分析装置包括摄像装置和反射可见光的镜，

所述镜能够在将所述X射线管的出射窗口的图像引导至所述摄像装置的确认位置和不将所述出射窗口的图像引导至所述摄像装置的非确认位置之间移动，

在所述镜位于所述确认位置时，所述摄像装置取得所述X射线管的出射窗口的图像，在所述镜位于所述非确认位置时，所述摄像装置取得所述试样的分析面图像。

2.如权利要求1所述的X射线分析装置，其特征在于，

包括判定部，其通过比较由所述摄像装置摄像的出射窗口图像和已保存的出射窗口图像，来判定所述出射窗口是否正常。

3.如权利要求2所述的X射线分析装置，其特征在于，

所述判定部在判定为非正常时发出警告。

4.如权利要求1-3中任一项所述的X射线分析装置，其特征在于，

在所述装置主体部的内部配置有所述摄像装置和所述镜。

5.如权利要求1-3中任一项所述的X射线分析装置，其特征在于，

所述镜透过X射线且反射可见光。

6.如权利要求1-3中任一项所述的X射线分析装置，其特征在于，

在所述保护外壳的内部配置有所述摄像装置。

7.如权利要求1-3中任一项所述的X射线分析装置，其特征在于，

所述镜载置于所述装置主体部的上表面的开口部。