[发明专利]X射线分析装置

说明书

本发明提供一种能够容易地确认出射窗口的污染的X射线分析装置。X射线分析装置(1)包括能够移动至覆盖开口部(51a)的测定状态和开放开口部(51a)的非测定状态的保护外壳(20)，X射线管(10)将在阳极(11)的端面产生的X射线从框体(13)的出射窗口(13a)出射，检测器(30)检测通过向试样照射X射线而在试样上产生的X射线的强度，光阑(41)在非测定状态时被配置于X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方，另一方面，在测定状态时被从X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方移除，所述X射线分析装置(1)具有用于在测定状态时对X射线管(10)的出射窗口(13a)进行摄像的摄像装置(45)。

技术领域

本发明涉及取得试样中含有的元素的信息的X射线分析装置。

背景技术

荧光X射线分析装置向固体试样、粉状试样、液体试样照射一次X射线，并检测由一次X射线激发而释放的荧光X射线，由此进行该试样所含有的元素的定性、定量分析。

图4为表示一般的荧光X射线分析装置的一例的概略构成图。另外，图5为图4所示的荧光X射线分析装置的开放状态(非测定状态)。另外，以纸面上的左右方向为X方向，以垂直于纸面的方向为Y方向，以纸面上的上下方向为Z方向。

荧光X射线分析装置401包括：保护外壳20，其在内部配置有试样S；装置主体部50，其在内部配置有X射线球管10、准直器(光阑)41、检测器30和CCD相机45；外壳驱动机构42，其使保护外壳20在上下方向移动；准直器驱动机构43，其使准直器41移动；以及计算机460，其控制装置整体(例如，参照专利文献1)。

装置主体部50包括具有上表面、下表面、右侧壁、前侧壁、左侧壁和后侧壁的框体部51，在框体部51的上表面的中央部形成有例如直径为15mm的圆形的开口51a，如图所示，试样S的分析面以堵住开口51a的方式载置于分析位置上。

图6为表示图4所示的X射线球管10的截面图。X射线球管10包括在内部具有作为阳极的靶材11和作为阴极的灯丝12的圆筒形状的框体13。

在框体13的侧壁，形成有例如Be(铍)制的圆形的出射窗口13a，在与出射窗口13a相对的位置配置有靶材11的端面，并且在与靶材11的端面相对的位置配置有灯丝12的顶端。

根据这样的X射线球管10，由高压电源(未图示)将高电压施加至靶材11，并且由低压电源(未图示)将低电压施加至灯丝12，由此，使从灯丝12释放的热电子撞击靶材11的端面，并使在靶材11的端面产生的一次X射线从出射窗口13a出射。

并且，X射线球管10以位于开口51a的左下方的方式而被固定，并以从X射线球管10出射的一次X射线向开口51a中的规定照射范围(例如直径为10mm的圆形)入射的方式而被构成。

准直器41为以排列的方式形成有大圆形(例如直径为10mm)的开口41a以及小圆形(例如直径为1mm)的开口41b的平板，并被配置于X射线球管10与开口51a之间。并且，准直器41通过准直器驱动机构43，能够在与一次X射线的光轴正交的平面内在Y方向和-Y方向上移动。于是，从X射线球管10出射的规定照射范围(例如直径为10mm的圆形)的一次X射线中的任意的设定照射有效范围的一次X射线通过准直器41。由此，在试样S中，例如，通过一次X射线照射直径为10mm的圆形的设定测定有效区域，或是通过一次X射线照射直径为1mm的圆形的设定测定有效区域，或是完全不进行照射。

检测器30例如具有形成有导入窗的框体，并在框体的内部配置有检测荧光X射线的检测元件(半导体元件)。并且，检测器30以位于开口51a的右下方的方式而被固定，并以在试样S产生的荧光X射线入射至导入窗的方式而被构成。

CCD相机45被设置在与试样S的分析面相对的位置，并将试样S的分析面图像输出至计算机460。