[发明专利]一种缺陷检测装置及方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括

光学单元，用于对发光面板成像；

探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；

微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；

以及

处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理所述探测单元采集的图像并进行缺陷检测；

其中，所述探测单元采集的所述发光面板的图像为经过振动匀化的图像，以抑制莫尔条纹。

2.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述探测单元连接。

3.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述光学单元连接。

4.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与发光面板连接。

5.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述光学单元和探测单元的整体结构连接。

6.根据权利要求1所述 的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元采用压电陶瓷驱动器。

7.一种采用权利要求1至6任意一项所述的缺陷检测装置进行缺陷检测的方法，其特征在于，利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理。

8.根据权利要求7所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述利用处理单元分析对采集图像进行处理分析的过程包括：

1)对采集图像进行预处理；

2)通过缺陷检测算法检测图像的缺陷；

3)输出缺陷信息。

9.根据权利要求7所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动至少1个周期。

10.根据权利要求9所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，振动的方向与像素排列方向呈30至60度的夹角。

11.根据权利要求10所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，振动的振幅大于等于0.25像素且小于1像素。

12.根据权利要求9所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动大于10个周期。

13.根据权利要求8所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测算法是阈值分割法或者边缘提取方法。