[发明专利]一种缺陷检测装置及方法

说明书

本发明提供了一种缺陷检测装置及方法，所述缺陷检测装置包括光学单元，用于对发光面板成像；探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；以及处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像；所述缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理，可以避免莫尔条纹的影响，提高了图像信噪比，无复杂的滤波算子或频域变化，提高检测精度，提高缺陷检测的准确性。

技术领域

本发明涉及缺陷检测领域，特别涉及一种缺陷检测装置及方法。

背景技术

随着平板显示大范围应用，对平板显示的缺陷检测要求日益凸显。目前，业界对MURA(平板由于亮度显示不均匀性造成各种痕迹的现象)检测多数还是通过人工目视检查，受主观影响大，易出现漏检等问题。

使用设备采图并检测MURA所存在的难点在于：如图1所示，莫尔条纹1是由周期接近的两组周期图案形成的拍频图案，容易被探测到从而造成误检，或淹没缺陷信号。但由于莫尔条纹图像与平板方向、像素尺寸、相对夹角等众多因素相关，每块薄膜晶体管显示屏的莫尔条纹1都不同，难以通过常规的图像处理方法完全消除，如频域滤波、作为固定背景消除等处理方法。

发明内容

为了弥补现有的技术缺陷，本发明提出一种缺陷检测装置及方法，获得信噪比更高的图像，能清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，从而更有效的检测缺陷。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种缺陷检测装置，其特征在于，包括

光学单元，用于对发光面板成像；

探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；

微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；

以及

处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像。

可选地，所述微动单元与所述探测单元连接。

可选地，所述微动单元与所述光学单元连接。

可选地，所述微动单元与发光面板连接。

可选地，所述微动单元与所述光学单元和探测单元的整体结构连接。

可选地，所述微动单元采用压电陶瓷驱动器。

为实现上述目的，本发明还提出采用上述缺陷检测装置的一种缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理。

可选地，所述利用处理单元分析对采集图像进行处理分析的过程包括：

1)对采集图像进行预处理；

2)通过缺陷检测算法检测图像的缺陷；

3)输出缺陷信息。

可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动至少1个周期。

可选地，振动的方向与像素排列方向呈30至60度的夹角。

可选地，振动的振幅大于等于0.25像素且小于1像素。

可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动大于10个周期。

可选地，所述缺陷检测算法是阈值分割法或者边缘提取方法。