[发明专利]掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法在审
申请号: | 201611238151.6 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106773527A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 周波;李青;王丽红;郑权 | 申请(专利权)人: | 东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
主分类号: | G03F1/50 | 分类号: | G03F1/50;G03F7/20;G03F7/22 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 桑传标,陈庆超 |
地址: | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 曝光 玻璃 方法 | ||
1.一种曝光机,用于制作显示器(7),所述曝光机包括传送装置(3)、掩膜板(1)和光源(2),所述传送装置(3)传送玻璃基板(6)经过所述掩膜板(1),所述光源(2)通过开设在所述掩膜板(1)上的透光孔照射所述玻璃基板(6),其特征在于,所述掩膜板(1)形成为可绕轴线回转的筒状结构,该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板(6)的宽度方向延伸,所述光源(2)固定地设置在所述掩膜板(1)的空腔内,所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板(1)回转的驱动装置(4)。
2.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述光源(2)为线形光源(2),该线性光源(2)的延伸方向与所述掩膜板(1)的轴线平行。
3.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述透光孔的尺寸与所述显示器(7)的显示单元的尺寸相同,所述曝光机还包括控制系统,以保持曝光时所述掩膜板(1)的线速度与所述传送装置(3)的运动速度一致。
4.根据权利要求3所述的曝光机,其特征在于,所述控制系统包括用于检测所述传送装置(3)的运动速度并向外发送信号的传感器(5),与所述传感器(5)电连接以接收所述信号的控制器,所述控制器与所述驱动装置(4)电连接,以通过所述驱动装置(4)调节所述掩膜板(1)的线速度。
5.根据权利要求4所述的曝光机,其特征在于,所述传感器(5)为编码器。
6.根据权利要求4所述的曝光机,其特征在于,所述驱动装置(4)为伺服电机或步进电机。
7.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述玻璃基板(6)为柔性玻璃基板(6)。
8.一种掩膜板,其特征在于,该掩膜板为根据权利要求1-7中任意一项所述的曝光机中的掩膜板。
9.一种玻璃基板曝光方法,用于在所述玻璃基板(6)上制作尺寸相同且相互间隔的多个显示器(7),所述显示器(7)在所述玻璃基板(6)的长度方向的尺寸为L1,任意两个沿所述玻璃基板(6)长度方向相邻的显示器(7)之间的间距为L2,其特征在于,该曝光方法使用根据权利要求1-7中任意一项所述的曝光机对所述玻璃基板(6)进行曝光,所述曝光方法包括,
传送装置(3)传送所述玻璃基板(6)经过所述掩膜板(1);
所述掩膜板(1)绕轴线回转,所述光源(2)通过透光孔照射所述玻璃基板(6)。
10.根据权利要求9所述的玻璃基板曝光方法,其特征在于,所述曝光机为根据权利要求4所述的曝光机,当掩膜板(1)的截面周长L3=L1+L2时,所述曝光方法包括,传感器(5)检测传送装置(3)的运动速度V并向控制器发送信号,控制器接收该信号并启动驱动装置(4),掩膜板(1)开始转动直至曝光完成。
11.根据权利要求9所述的玻璃基板曝光方法,其特征在于,所述曝光机为根据权利要求4所述的曝光机,当掩膜板(1)的截面周长L3为任意值时,所述曝光方法包括,
S1:传感器(5)检测传送装置(3)的运动速度V并向控制器发送信号,控制器接收该信号启动驱动装置(4),经过时间T1,且T1·V=L1时,控制器控制驱动装置(4)停止,
S2:经过时间T2,且T2·V=L2时,重复S1,
重复S1和S2步骤至曝光完成。
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