[发明专利]掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法

说明书

技术领域

本公开涉及曝光工艺，具体地，涉及一种掩膜板，具有该掩膜板的曝光机，以及使用该曝光机曝光玻璃基板的曝光方法。

背景技术

显示器制造工艺的核心在于曝光工艺，即利用紫外线透过称为“掩膜板”的部件照射玻璃基板表面的光刻胶，使光刻胶性质发生变化。掩膜板通常是一种矩形的平板，其上制造有透光孔，使得紫外线在玻璃基板表面形成刻蚀图像。随着技术的进步，玻璃基板和显示器的尺寸越来越大，同时柔性玻璃技术的发展，使得“卷对卷”技术逐渐普及。在该背景下，当前的曝光工艺主要存在以下问题：

一、随着玻璃基板尺寸的增大，掩膜板的尺寸也随之增大，由此导致在掩膜板上加工透光孔的数量和难度增加，不利于节省生产成本。

二、较大尺寸的掩模版在曝光过程中，其边部光线畸变严重，影响显示器的显示效果，降低成品良率。

三、当前的曝光方法需要在玻璃基板进入曝光机后停止运动，等待曝光完成后，再将玻璃基板送出曝光机，这样间歇停顿式的加工方法严重制约着生产效率。

发明内容

本公开的目的是提供一种掩膜板，具有该掩膜板的曝光机，以及使用该曝光机曝光玻璃基板的方法。该掩膜板制作难度低，节省成本，并且不易导致光线畸变，能够保证显示器的成品良率。

为了实现上述目的，本公开提供一种曝光机，用于制作显示器，所述曝光机包括传送装置、掩膜板和光源，所述传送装置传送玻璃基板经过所述掩膜板，所述光源通过开设在所述掩膜板上的透光孔照射所述玻璃基板，所述掩膜板形成为可绕轴线回转的筒状结构，该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板的宽度方向延伸，所述光源固定地设置在所述掩膜板的空腔内，所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板回转的驱动装置。

可选地，所述光源为线形光源，该线性光源的延伸方向与所述掩膜板的轴线平行。

可选地，所述透光孔的尺寸与所述显示器的显示单元的尺寸相同，所述曝光机还包括控制系统，以保持曝光时所述掩膜板的线速度与所述传送装置的运动速度一致。

可选地，所述控制系统包括用于检测所述传送装置的运动速度并向外发送信号的传感器，与所述传感器电连接以接收所述信号的控制器，所述控制器与所述驱动装置电连接，以通过所述驱动装置调节所述掩膜板的线速度。

可选地，所述传感器为编码器。

可选地，所述驱动装置为伺服电机或步进电机。

可选地，所述玻璃基板为柔性玻璃基板。

基于上述技术方案，本公开还提供一种掩膜板，该掩膜板为本公开提供的曝光机中的掩膜板。

基于上述技术方案，一种玻璃基板曝光方法，用于在所述玻璃基板上制作尺寸相同且相互间隔的多个显示器，所述显示器在所述玻璃基板的长度方向的尺寸为L1，任意两个沿所述玻璃基板长度方向相邻的显示器之间的间距为L2，该曝光方法使用本公开提供的曝光机对所述玻璃基板进行曝光，所述曝光方法包括，

传送装置传送所述玻璃基板经过所述掩膜板；

所述掩膜板绕轴线回转，所述光源通过透光孔照射所述玻璃基板。

可选地，当掩膜板的截面周长L3＝L1+L2时，所述曝光方法包括，传感器检测传送装置的运动速度V并向控制器发送信号，控制器接收该信号并启动驱动装置，掩膜板开始转动直至曝光完成。

可选地，所述曝光机为根据权利要求4所述的曝光机，当掩膜板的截面周长L3为任意值时，所述曝光方法包括，

S1：传感器检测传送装置的运动速度V并向控制器发送信号，控制器接收该信号启动驱动装置，经过时间T1，且T1·V＝L1时，控制器控制驱动装置停止，

S2：经过时间T2，且T2·V＝L2时，重复S1，

重复S1和S2步骤至曝光完成。

通过上述技术方案，由于显示器属于矩阵型部件，其各行的显示单元基本一致，因此使用本公开提供的曝光机制作显示器时，由于其掩膜板形成为可回转的筒状结构，仅需在掩膜板的筒壁上制作包含一个显示器的完整显示矩阵或者制作一行或多行显示单元的透光孔，并且在曝光中控制掩膜板回转即能够连续地曝光玻璃基板，本公开提供的掩膜板解除了玻璃基板尺寸对掩膜板尺寸的限制，降低掩膜板的制作难度，节省生产成本，除此之外，减小掩膜板的尺寸也能够减弱光线在掩膜板边缘的畸变。具有该掩膜板的曝光机除了同样具有上述优点以外，还能够进行玻璃基板的连续曝光，提高生产效率，同时该曝光机也适用于柔性玻璃基板的曝光加工，适用范围广，能够显著提升经济效益。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明