[发明专利]一种剥离装置及其剥离方法

权利要求书

1.一种剥离装置，用于将柔性基板从衬底上剥离，其特征在于，包括：激光发射器和卷揭轮；所述卷揭轮具有滚锟和位于所述滚锟上的多个吸盘；

所述激光发射器，用于在所述柔性基板的边缘区域向所述柔性基板与衬底的界面处发射激光；

所述卷揭轮，用于采用所述吸盘吸附所述柔性基板，并利用所述滚锟的滚动，将整个所述柔性基板卷起。

2.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述滚锟的周长大于所述柔性基板的长度。

3.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，还包括：气体供应器；

所述气体供应器，用于提供干冷空气，以控制剥离过程的温度维持在设定的温度范围内。

4.如权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，所述温度范围为10℃至35℃。

5.如权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，所述激光发射器与所述气体供应器为一体化设备。

6.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述吸盘具体位于所述滚锟上的开孔；

所述滚锟内设有多个真空管道，每一真空管道的一端与所述滚锟的轴连通，另一端与所述滚锟上的开孔连通，所述吸盘利用连接与所述轴的一真空泵对所述滚锟内部抽真空吸附在所述滚锟上的开孔。

7.如权利要求1-6任一项所述的剥离装置，其特征在于，所述柔性基板包括柔性基底，以及设置在所述柔性基底背向所述衬底一侧的功能膜层和保护层。

8.一种采用如权利要求1-7任一项所述剥离装置的剥离方法，用于将柔性基板从衬底上剥离，其特征在于，包括：

在所述柔性基板的上方放置卷揭轮，以及在所述柔性基板的边缘区域放置激光发射器；

通过所述激光发射器发射的激光照射所述柔性基板与衬底的界面处；

同时通过卷揭轮采用吸盘吸附所述柔性基板，并利用滚锟的滚动，将所述柔性基板卷起，以将整个所述柔性基板从衬底上剥离。

9.如权利要求8所述的剥离方法，其特征在于，还包括：

同时通过气体供应器提供的干冷空气，以控制剥离过程的温度维持在设定的温度范围内。

10.如权利要求8所述的剥离方法，其特征在于，通过所述激光发射器发射的激光照射所述柔性基板与衬底的界面处时，所述激光的传播方向为远离所述柔性基板的方向，且与所述衬底所在水平面具有一定的夹角。