[发明专利]一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法有效
申请号: | 201611245175.4 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN106654065B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 蔡哲汶;王思元 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,何娇 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 柔性 屏基板 剥离 设备 制造 方法 | ||
1.一种用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述剥离设备具有工作平台,所述工作平台包括:
基板放置区,其用于放置所述柔性屏基板;
基板夹持片,其设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处,用于将所述柔性屏基板固定在所述基板放置区内或者将柔性屏基板释放;以及
平台旋转器,其设置在所述基板放置区的两侧,用于翻转所述基板放置区。
2.根据权利要求1所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述基板夹持片的两端垂直向外延伸出铰接部,所述铰接部能够与所述基板放置区的边缘铰接,使得基板夹持片能够相对于所述基板放置区旋转。
3.根据权利要求2所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述基板夹持片内设置有真空腔室,所述基板夹持片的表面设置有多个吸气孔,所述吸气孔与所述真空腔室连通,所述基板夹持片能够真空吸附所述柔性屏基板。
4.根据权利要求2所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述基板夹持片在铰接部处设置有限位结构,当所述基板夹持片旋转至与放置在所述基板放置区内的柔性屏基板贴合时,所述限位结构能够使得基板夹持片保持住与柔性屏基板保持平行。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述基板夹持片对称地设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,所述平台旋转器由电机控制。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备,其特征在于,在所述工作平台的上方设置有激光源。
8.一种利用权利要求1至7中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备实施的柔性屏的制造方法,所述柔性屏基板包括:玻璃载板、柔性基板、阵列薄膜层、有机发光层以及薄膜封装层,所述柔性基板、阵列薄膜层和有机发光层依次涂覆在所述玻璃载板上,并且所述薄膜封装层包覆在所述阵列薄膜层和有机发光层的上表面和四周;其特征在于,所述制造方法包括以下步骤:
步骤一:将基板放置区上侧的基板夹持片保持竖直状态,基板放置区下侧的基板夹持片保持水平状态,然后将柔性屏基板放置于工作平台上的基板放置区内,此时柔性屏基板的玻璃载板朝上放置并面向位于工作平台上方的激光源;
步骤二:利用激光源对柔性屏基板进行激光扫描;
步骤三:将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转;
步骤四:将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转至与柔性屏基板的玻璃载板一侧贴合,然后180度翻转工作平台;
步骤五:释放此时位于基板放置区上侧的基板夹持片,此时柔性屏基板的薄膜封装层面向激光源;
步骤六:进行机械剥离工程,将柔性屏与玻璃载板分离,从而得到柔性屏。
9.根据权利要求8所述的柔性屏的制造方法,其特征在于,所述激光源为准分子激光。
10.根据权利要求8所述的柔性屏的制造方法,其特征在于,所述激光源为固态激光。
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