[发明专利]一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及柔性显示屏的制造领域，特别涉及一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法。

背景技术

随着柔性显示屏制造技术日趋发展成熟，已经可以利用精密涂布制程将耐高温柔性薄膜制作在玻璃载板上，并进行阵列(Array)与有机发光层(OLED)制程，最后于模组工程(Module)再以激光剥离(Laser lift off)与机械剥离两道制作工程将柔性屏取下。

然而，目前激光剥离和机械剥离需要在不同的工作平台上进行，因此需要转移柔性屏基板，造成工序复杂，具有生产效率低下，制造成本高等技术缺陷。

鉴于此，本发明的发明人提供一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法，该剥离设备能够实现使得柔性屏基板在一个工作平台上进行激光剥离和机械剥离，能够有效提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法，该剥离设备能够实现使得柔性屏基板在一个工作平台上进行激光剥离和机械剥离，能够有效提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

为达上述目的，本发明提供一种用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述剥离设备具有工作平台，所述工作平台包括：

基板放置区，其用于放置所述柔性屏基板；

基板夹持片，其设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处，用于将所述柔性屏基板固定在所述基板放置区内或者将柔性屏基板释放；以及

平台旋转器，其设置在所述基板放置区的两侧，用于翻转所述基板放置区。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片的两端垂直向外延伸出铰接部，所述铰接部能够与所述基板放置区的边缘铰接，使得基板夹持片能够相对于所述基板放置区旋转。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片内设置有真空腔室，所述基板夹持片的表面设置有多个吸气孔，所述吸气孔与所述真空腔室连通，所述基板夹持片能够真空吸附所述柔性屏基板。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片在铰接部处设置有限位结构，当所述基板夹持片旋转至与放置在所述基板放置区内的柔性屏基板贴合时，所述限位结构能够使得基板夹持片保持住与柔性屏基板保持平行。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片对称地设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述平台旋转器由电机控制。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，在所述工作平台的上方设置有激光源。

本发明还提供一种利用上述的用于柔性屏基板的剥离设备实施的柔性屏的制造方法，所述柔性屏基板包括：玻璃载板、柔性基板、阵列薄膜层、有机发光层以及薄膜封装层，所述柔性基板、阵列薄膜层和有机发光层依次涂覆在所述玻璃载板上，并且所述薄膜封装层包覆在所述阵列薄膜层和有机发光层的上表面和四周；其中，所述制造方法包括以下步骤：

步骤一：将基板放置区上侧的基板夹持片保持竖直状态，基板放置区下侧的基板夹持片保持水平状态，然后将柔性屏基板放置于工作平台上的基板放置区内，此时柔性屏基板的玻璃载板朝上放置并面向位于工作平台上方的激光源；

步骤二：利用激光源对柔性屏基板进行激光扫描；

步骤三：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转；

步骤四：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转至与柔性屏基板的玻璃载板一侧贴合，然后180度翻转工作平台；

步骤五：释放此时位于基板放置区上侧的基板夹持片，此时柔性屏基板的薄膜封装层面向激光源；

步骤六：进行机械剥离工程，将柔性屏与玻璃载板分离，从而得到柔性屏。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源为准分子激光。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源为固态激光。

本发明的有益效果是：其利用特殊设计的翻转平台结构，实现在激光剥离(Laser lift off)工序时在同一平台接著进行机械剥离，简化工序与基板转移工时，可以提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是柔性屏基板的结构示意图；

图2是根据本发明的用于柔性屏基板的剥离设备的工作平台的俯视图；

图3是根据本发明的用于柔性屏基板的剥离设备的工作平台的侧视图；