[发明专利]打印头芯片及其制造方法

权利要求书

1.一种打印头芯片，其特征在于，包括：

衬底，

多个墨水容纳腔，形成于所述衬底中；

过滤网，位于所述衬底的第一侧，所述过滤网中形成有多个滤孔；

至少一个喷墨打印头模组，位于所述过滤网远离所述衬底的一侧表面，所述喷墨打印头模组包括至少两种类型的喷墨打印头芯片；

其中，所述喷墨打印头模组中的各喷墨打印头芯片通过所述滤孔与一个所述墨水容纳腔相连；不同类型的所述喷墨打印头芯片在打印过程中切换工作或同时工作，所述喷墨打印头模组包括热泡打印芯片和压电打印芯片，所述热泡打印芯片用于打印低粘度液体，所述压电打印芯片用于打印高粘度液体，所述过滤网与各所述喷墨打印头芯片接触的表面上形成有凹槽，所述凹槽与所述滤孔在所述过滤网的不同侧。

2.根据权利要求1所述的打印头芯片，其特征在于，所述喷墨打印头模组中的各喷墨打印头芯片按照预设的排列顺序分布，且确保每一行和列中的喷墨打印头芯片的喷孔对齐。

3.根据权利要求2所述的打印头芯片，其特征在于，所述预设的排列顺序为所述喷墨打印头模组中的同类型的喷墨打印头芯片组成一排，各排喷墨打印头芯片间隔排列，或者，

所述喷墨打印头模组中的各类型的喷墨打印头芯片间隔交替组成多排，各排喷墨打印头芯片间隔排列。

4.根据权利要求1-3中任一所述的打印头芯片，其特征在于，所述过滤网由硅、陶瓷或金属材料构成。

5.根据权利要求1-3中任一所述的打印头芯片，其特征在于，还包括：

驱动电路，用于驱动所述至少两种类型的喷墨打印头芯片。

6.一种打印头芯片的制造方法，其特征在于，包括：

提供衬底；

在所述衬底中形成多个墨水容纳腔；

在所述衬底的第一侧形成过滤网，所述过滤网中形成有多个滤孔；

在所述过滤网远离所述衬底的一侧表面形成多个喷墨打印头模组，所述喷墨打印头模组包括至少两种类型的喷墨打印头芯片；

其中，所述喷墨打印头模组中的各喷墨打印头芯片通过所述滤孔与一个所述墨水容纳腔相连；不同类型的所述喷墨打印头芯片在打印过程中切换工作或同时工作，所述喷墨打印头模组包括热泡打印芯片和压电打印芯片，所述热泡打印芯片用于打印低粘度液体，所述压电打印芯片用于打印高粘度液体，所述过滤网与各所述喷墨打印头芯片接触的表面上形成有凹槽，所述凹槽与所述滤孔在所述过滤网的不同侧。

7.根据权利要求6所述的打印头芯片的制造方法，其特征在于，所述喷墨打印头模组中的喷墨打印头芯片按照预设的排列顺序分布，以且确保每一行和列中的喷墨打印头芯片的喷孔对齐。

8.根据权利要求7所述的打印头芯片的制造方法，其特征在于，所述预设的排列顺序为所述喷墨打印头模组中的同种类型的喷墨打印头芯片组成一排，各排喷墨打印头芯片间隔排列，或者，

所述喷墨打印头模组中的各类型的喷墨打印头芯片间隔交替组成多排，各排喷墨打印头芯片间隔排列。