[实用新型]一种半导体测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体测试装置，特别涉及一种半导体电性能测试装置。

背景技术

在现有半导体的电性能测试中，往往会用到测试机，测试机控制测试过程，同时可作为电压或电流源，并能对输出的电压和电流进行测量，并通过测试软件实现测试结果的分类，数据的保存和控制，系统校准以及故障的诊断；监测时，通过测试片固定待测产品，并将其送入测试机进行测试。现有技术中的测试片不足之处在于：其结构不对称，当测试片一侧的导电性损坏后，不能将其翻转重复使用，从而浪费加工材料，增加了加工成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体测试装置，使其能够达到重复多次使用，降低消耗，节约成本。

本实用新型的目的是这样实现的：一种半导体测试装置，包括安装在测试座上的第一测试片与第二测试片，所述第一测试片包括一对对称加工在第一安装部两端的第一夹持部，第一安装部上开设有第一安装孔与第一定位孔；所述第二测试片包括一对对称加工在第二安装部两端的第二夹持部，第二安装部上开设有第二安装孔与第二定位孔，所述第一测试片设置有四片，第二测试片设置有两片，其中两个第一测试片组成第一夹持脚，一个第一测试片和一个第二测试片组成第二夹持脚，一个第一测试片和一个第二测试片组成第三夹持脚。

本实用新型工作时，将待测三极管放置在测试座上，通过第一夹持脚、第二夹持脚和第三夹持脚分别与待测三极管的第一引脚、第二引脚和第三引脚进行接触连接，第一安装孔和第二安装孔内均旋入锁紧螺钉，使得第一测试片和第二测试片与测试座固定连接，第一测试片和第二测试片在锁紧螺钉的作用下将待测三极管压紧固定，固定后将其送入测试机进行检测，当第一测试片和第二测试片压紧待测三极管的一端磨损或导电性能丧失后，可翻转第一测试片和第二测试片，使得第一测试片和第二测试片可继续使用。与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过在第一测试片和第二测试片上设置一对夹持部，使得当第一测试片与第二测试片一侧夹持部的导电性损坏后，可将其翻转后重复使用，从而节省了加工材料，降低了加工成本，同时其结构简单，易于加工，且使用安全可靠，本实用新型可用于半导体电性能测试中。

为了便于第一测试片与第二测试片的固定和安装，提高安装和固定的可靠性和稳定性，所述第一定位孔开设有两个，且对称设置在第一安装孔的两侧，所述第二定位孔也开设有两个，且对称设置在第二安装孔的两侧。

为了保证测试片的导电性能，第一测试片和第二测试片的厚度相同，均为0.1mm。

为了确保第一测试片与第二测试片的导电性，所述第一测试片与第二测试片的表面镀有镀金层，厚度为0.005mm。

为了便于第一测试片与第二测试片配合使用，所述第一夹持部相对于第一安装部倾斜设置，所述第二夹持部相对于第二安装部垂直设置。

附图说明

图1为本实用新型中的第一测试片的主视图。

图2为本实用新型中的第二测试片的主视图。

图3为本实用新型中的待测三极管的主视图。

图4为测试片安装在测试座上的主视图。

其中，1测试座，2第一测试片，2a测试片一，2b测试片二，2c测试片三，2d测试片四，201第一安装部，201a第一安装孔，201b第一定位孔，202第一夹持部，3第二测试片，3a测试片五，3b测试片六，301第二安装部，301a第二安装孔，301b第二定位孔，302第二夹持部，4三极管，401第一引脚，402第二引脚，403第三引脚。

具体实施方式