[实用新型]一种晶片研磨剂混合输送装置

权利要求书

1.一种晶片研磨剂混合输送装置，其特征在于：所述晶片研磨剂混合输送 装置包括依次连接的反应釜、保温过滤设备、研磨剂存储设备以及研磨剂输送 管；所述反应釜包括温度测试仪、粘度测试仪；所述反应釜顶部设有进料口， 底部设有出料口；所述出料口设有出料阀门；所述保温过滤装置包括倾斜设置 的中空柱体；所述中空柱体设有流体进口与流体出口；所述中空柱体内，在流 体进口与流体出口之间设置600目的滤网；所述中空柱体外侧壁设有加热装置； 所述研磨剂存储设备外侧壁设有振动器；所述研磨剂存储设备顶部设有研磨剂 入口，侧壁下部设有研磨剂出口；所述研磨剂存储设备的体积为5～6升；所述 反应釜的出料口与中空柱体的流体进口连接；所述中空柱体的流体出口与研磨 剂存储设备的研磨剂入口连接；所述研磨剂存储设备的研磨剂出口与研磨剂输 送管连接。

2.根据权利要求1所述晶片研磨剂混合输送装置，其特征在于：所述加热 装置为柔性加热器。

3.根据权利要求1所述晶片研磨剂混合输送装置，其特征在于：所述研磨 剂存储设备为圆柱型结构或者方柱型结构。

4.根据权利要求1所述晶片研磨剂混合输送装置，其特征在于：所述中空 柱体为中空圆柱体或者中空方柱体。

5.根据权利要求1所述晶片研磨剂混合输送装置，其特征在于：所述滤网 可拆卸的安装在中空柱体内部。