[实用新型]一种晶片研磨剂混合输送装置

说明书

技术领域

本实用新型属于晶片研磨处理设备领域，具体涉及一种晶片研磨剂的混合输 送装置。

背景技术

石英晶体是目前世界上用量最大的晶体。利用石英晶体本身的物理特性制作 的电子元件水晶频率片，具有很高的频率稳定性，广泛用于数字电路，计算机、 通讯等领域。它的作用就是在电子线路中作为频率源或频率基准，是一个压电 元件，能量在电能和机械能状态下每秒转换数百万次。人造水晶棒经过切割、 研磨、腐蚀等工序，加工成各种形状的晶片，晶片的频率和厚度成反比，晶片 的外观、尺寸和形状对晶片的特性影响很大。石英晶片(半成品)经过焊接电 极，安装支架，封装外壳等工序加工成成品的电子元件--石英谐振器(简称晶体)。 石英晶体谐振器可以产生稳定频率。现有的石英晶体频率片的制造工艺制造的 产品，其厚度研磨时不容易控制，研磨后的晶体就已经决定了晶体的频率，有 些厚度较薄的晶片，难以进行调节，甚至直接报废，大大浪费了原材料，导致 成本的上升。晶体是由石英晶片、支架、外壳等部分组成的。晶体的种类有49U、 49S、UM、SMD(表面贴装)音叉晶体(表晶)。石英晶片和外围电路组成石英 晶体器件。主要器件有：晶体滤波器、石英晶体振荡器(PXO)、温补晶振(TCXO)、 压控振荡器、(VCXO)、温控振荡器(OCXO)。

随着现代社会的高速发展，半导体行业发展越来越来，频率片市场需求量越 来越旺盛。频率片的生产工序复杂繁多，每个工序都需要进行严格控制，由石 英切割形成的晶片需要经过多到加工才能成为电子应用的晶片，其中研磨工艺 最为重要，主要利用研磨剂，在研磨设备中，对晶片上下表面进行加工。该工 序主要通过设备使用研磨砂对频率片进行研磨，在研磨过程中需要将研磨剂不 断导入设备，通常是使用导管导入，此过程中，研磨剂的均匀度以及输送速率 十分关键；目前，一般将研磨剂混合物放入近百升大小的存储桶中，通过存储 桶与研磨机之间的研磨剂输送管将研磨剂输送至研磨机中，然后将研磨后的研 磨剂通过研磨机与存储桶之间的研磨机回收管回收至存储桶中，可以循环利用。 现有技术中，研磨剂混合后，一段时间后，会由于多组分间的不相容性而产生 存储桶内各部分研磨剂不均匀的情况，极大地降低了晶片研磨效果，导致晶片 研磨报废率高达3％左右。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种晶片研磨剂混合输送装置，结合有机无机材 料混合加工技术，利用循环处理的优点，使得到达研磨机中的研磨剂组成不会 随着时间的变化而变化，稳定的研磨剂有利于晶片研磨效果的改善。

为达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案是：一种晶片研磨 剂混合输送装置，包括依次连接的反应釜、保温过滤设备、研磨剂存储设备以 及研磨剂输送管；所述反应釜包括温度测试仪、粘度测试仪；所述反应釜顶部 设有进料口，底部设有出料口；所述出料口设有出料阀门；所述保温过滤装置 包括倾斜设置的中空柱体；所述中空柱体设有流体进口与流体出口；所述中空 柱体内，在流体进口与流体出口之间设置600目的滤网；所述中空柱体外侧壁 设有加热装置；所述研磨剂存储设备外侧壁设有振动器；所述研磨剂存储设备 顶部设有研磨剂入口，侧壁下部设有研磨剂出口；所述研磨剂存储设备的体积 为5～6升；所述反应釜的出料口与中空柱体的流体进口连接；所述中空柱体 的流体出口与研磨剂存储设备的研磨剂入口连接；所述研磨剂存储设备的研磨 剂出口与研磨剂输送管连接。

上述技术方案中，加热装置为柔性加热器，位于中空柱体外侧，可用温控 控制。这个创造性的设计使得研磨剂在过滤时粘度适中，不会因为低温流动性 差、堵塞网孔、降低过滤效率与精度，同时还会使得体系保持一定的反应活性。

本实用新型中，中空柱体倾斜是相对于正常的水平或者垂直状态，指使用 时，中空柱体非垂直亦非水平，其与水平面有一定角度，柱体优选为圆柱体或 者方柱体，两端封闭，内设空腔，空腔用于研磨剂流动与过滤。流体进口与流 体出口设置在侧壁上，根据研磨剂流动路径，流体进口在上，流体出口在下。 倾斜设置一方面缓冲研磨剂流动动力，增加过滤效果，还可以使得研磨剂受热 均匀稳定。倾斜的角度、流体进口与流体出口的高度差、流体进口与流体出口 之间的距离不做限定，本领域技术人员根据研磨剂的配方粘度、车间大小、垂 直高度自行选择。