[实用新型]一种研磨基板压力供给装置

权利要求书

1.一种研磨基板压力供给装置，其特征在于，包括：

第一通电磁铁和第二通电磁铁，所述第一通电磁铁和第二通电磁铁的同极侧上下相对放置且存在空隙；

所述第二通电磁铁与第一通电磁铁通过导轨机构连接，所述第二通电磁铁沿着第一通电磁铁和第二通电磁铁的共同中心线方向在一定范围内进行滑动；

所述第一通电磁铁和第二通电磁铁之间产生的排斥力为面板提供研磨压力。

2.如权利要求1所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，

所述第一通电磁铁和第二通电磁铁之间产生的排斥力F等于第一通电磁铁产生磁力F1和第二通电磁铁产生磁力F2之和，即：

F＝F1+F2,

其中，μ₁为第一通电磁铁的磁导率，S₁为第一通电磁铁铁芯的截面积，I₁为第一通电磁铁的线圈电流，W₁为第一通电磁铁的线圈匝数，δ₁为第一通电磁铁的气隙长度；

μ₂为第一通电磁铁的磁导率，S₂为第一通电磁铁铁芯的截面积，I₂为第一通电磁铁的线圈电流，W₂为第一通电磁铁的线圈匝数，δ₂为第一通电磁铁的气隙长度。

3.如权利要求1所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，所述导轨机构包括第一L形固定支架和第二L形固定支架，所述第一L形固定支架位于横向的第一边与第一通电磁铁固定连接，其位于纵向的第二边与第二L形固定支架的位于纵向的长边通过滑轨连接，所述长边与第二通电磁铁连接，所述第二通电磁铁通过在长边上的滑动，实现与第一通电磁铁的相对运动。

4.如权利要求3所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，

所述第二L形固定支架的长边长度大于第一L形固定支架的第二边长度。

5.如权利要求3所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，

所述第二L形固定支架的位于横向的窄边垂直连接连接杆，导轨机构还包括缓冲器，所述缓冲器固定在连接杆和第一固定支架中的第一边之间，所述缓冲器包括限位杆和套在限位杆上的弹簧。

6.如权利要求5所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，

所述连接杆连接限位杆，所述弹簧固定在窄边上，所述第二通电磁铁在长边上滑动带动所述连接杆在限位杆范围内挤压弹簧，进而产生缓冲力。

7.如权利要求1所述的研磨基板压力供给装置，其特征在于，所述第二通电磁铁底端连接研磨钻头，所述研磨钻头底端设有缓冲海绵。