[实用新型]研磨头及研磨装置有效
| 申请号： | 201620032022.0 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN205271694U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 谭巧敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
1.一种研磨头，所述研磨头包括基座、吸附机构及设置于所述基座和吸附 机构之间并与两者连接的密封圈，其特征在于，还包括至少一个主动部件和至 少一个被动部件，所述主动部件固定于所述基座上，所述被动部件固定于所述 吸附机构上，所述主动部件跟随所述基座进行旋转运动，并推动所述被动部件 进行旋转运动，以带动所述吸附机构进行旋转运动。
2.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述被动部件为磁铁杆，所 述主动部件包括壳体和磁铁，所述磁铁套接于所述壳体中并沿所述壳体做伸缩 运动。
3.如权利要求2所述的研磨头，其特征在于，所述磁铁的自由端与所述磁 铁杆的自由端的极性相同。
4.如权利要求2所述的研磨头，其特征在于，所述磁铁的自由端与所述磁 铁杆的自由端的极性不同。
5.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件和所述被动部 件均为磁铁杆。
6.如权利要求5所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件的自由端与所 述被动部件的自由端的极性相同。
7.如权利要求5所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件的自由端与所 述被动部件的自由端的极性不同。
8.如权利要求5所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件和所述被动部 件均为永磁铁杆。
9.如权利要求1～8中任一项所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件水 平固定于所述基座上，所述被动部件竖直固定于所述吸附机构上，所述主动部 件推动所述被动部件进行旋转运动时，所述主动部件的自由端与所述被动部件 的自由端相交叠。
10.如权利要求1～8中任一项所述的研磨头，其特征在于，所述吸附机构 为底面具有凹槽的圆盘，所述基座为圆台体或圆柱体，所述基座设置在所述吸 附机构的顶面上，所述密封圈为环形圈，所述密封圈的内径边缘套接于靠近所 述吸附机构的所述基座上，所述密封圈的外径边缘套接于靠近所述基座的所述 吸附机构上。
11.如权利要求10所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件的数量为多 个，多个主动部件沿所述基座的径向均匀分布。
12.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述主动部件的数量小于 或等于所述被动部件的数量。
13.一种研磨装置，其特征在于，包括如权利要求1～12中任一项所述研磨 头。
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