[实用新型]一种基于侧边抛磨渐变折射率光纤的氢气传感装置有效
申请号: | 201620040539.4 | 申请日: | 2016-01-13 |
公开(公告)号: | CN205317669U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 包立峰;姚宇竹;严洒洒;白芸;吴学慧;沈常宇 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
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地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 侧边 渐变 折射率 光纤 氢气 传感 装置 | ||
1.一种基于侧边抛磨渐变折射率光纤的氢气传感装置,其特征在于:由半导体激光器(1), 第一GRIN透镜(2),第一单模光纤(3),渐变折射率光纤(4),氢敏感薄膜(5),第二GRIN 透镜(6),第二单模光纤(7),光功率计(8),恒温气室(9)组成,半导体激光器(1)出 射端与第一GRIN透镜(2)紧密相连,半导体激光器(1)发射的光束经第一GRIN透镜(2) 耦合到第一单模光纤(3)纤芯,第一单模光纤(3)出射端与渐变折射率光纤(4)入射端直 接耦合相连,渐变折射率光纤(4)出射光束经第二GRIN透镜(6)耦合到第二单模光纤(7) 纤芯,第二单模光纤(7)出射端与光功率计(8)相连;渐变折射率光纤(4)经过侧边抛磨 后溅射氢敏感薄膜(5)形成敏感区,渐变折射率光纤(4)与氢敏感薄膜(5)一起置于恒温 气室(9)中。
2.根据权利要求1所述的一种基于侧边抛磨渐变折射率光纤的氢气传感装置,其特征在于: 所述的渐变折射率光纤(4)具体为纤芯折射率倒置分布的渐变折射率光纤,纤芯直径约为 400μm,入射端面与出射端面均经过抛光处理。
3.根据权利要求1所述的一种基于侧边抛磨渐变折射率光纤的氢气传感装置,其特征在于: 所述的渐变折射率光纤(4)采用轮式侧抛技术进行侧边抛磨去除部分包层和纤芯,纤芯抛磨 后剩余厚度为200μm~300μm,纤芯裸露长度为20mm;采用磁控溅射法在裸露的纤芯上溅射 氢敏感薄膜(5),具体为膜厚40nm~200nm的Au/Pd薄膜或Ag/Pd薄膜。
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