[实用新型]基于二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜的湿度传感器

权利要求书

1.一种基于二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜的湿度传感器，包括湿度传感元件、电容-电压转换电路、微处理器、无线通讯模块、声光报警器，其中湿度传感元件经由电容-电压转换电路与微处理器连接，且微处理器同时连接无线通讯模块与声光报警器；其特征在于该湿度传感元件采用二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜作为湿敏传感薄膜，制备在具有回形叉指电极的聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上；该传感器通过测量二氧化锡/类石墨烯二硫化钼薄膜湿度传感元件的电容变化实现对环境湿度的监测，将监测数据传送给上位机及无线远程传输，可实现有效的实时监控和管理，并根据设定值做出警报。

2.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：所述湿度传感元件的湿敏传感薄膜厚度为8-12微米，是二氧化锡/类石墨烯二硫化钼构成的敏感薄膜。

3.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：所述湿度传感元件的衬底采用聚对苯二甲酸乙二醇酯，厚度为180微米，其上制作有回形叉指电极图案和电极焊盘。

4.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：所述湿度传感元件的回形叉指电极是采用银-镍-钯合金电极，电极间距为30微米，厚度为20微米。

5.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：所述湿度传感元件与电容-电压转换电路、STM32F103微处理器、声光报警器、SI4432无线通讯模块、计算机相连，具有数据采集、存储、显示，声光报警功能，监测数据可传送给上位机及无线远程传输，实现物联网环境湿度监测。