[实用新型]半导体封装上下料承载装置有效
申请号: | 201620057157.2 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN205303434U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 田扬海;周明灯;刘超 | 申请(专利权)人: | 嘉盛半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李景辉 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 上下 承载 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种半导体封装上下料承载装置。
背景技术
引线框架作为集成电路的芯片载体,是一种借助于键合材料实现芯片内部电路引出端 与外引线的电性连接,形成电性回路的关键结构件,是集成电路产业重要的基础材料。通 常呈方条形,其上设有若干阵列排布的相同的引线框架单元。
在生产制造过程中,通常以原料(例如为引线框架条或封装基板)作为生产单元,进 行批量生产,引线框架条或封装基板厚度很薄,在加热过程中(如引线键合、烘烤干燥、 芯片粘贴后胶材固化或封胶注模)极易发生翘曲变形,在自动化的封装产线上,封装基板 不平整,会导致后续作业产生一系列偏差,引起最终封装产品的质量缺陷,产生不良品。
引线框架条翘曲变形控制是每个生产工艺都要面临的问题,也是技术难点。不同 的工艺,需要研发出适宜的应对引线框架条翘曲变形的技术。如图1和图2所示,在 生产制造过程中,引线框架条112通常被置于一种矩形的承载料盒中,此料盒呈长方 体状,具有顶壁100和底壁102,前后两面具有开口,并有一可从上方插入的盖子, 以封住料盒,防止材料掉落。料盒的左右两面的内侧壁106、内侧壁104上自上而下 形成有若干沟槽(图1中沟槽108,沟槽110),各沟槽之间具有一定间距,依次将引 线框架条(图2中,引线框架条112)的短边沿沟槽插进去。
然后将承满引线框架条的料盒放到待作业机器的上料区,作业时,由机器的机械 手依次自动拾取盒中的引线框架条,每一条引线框架条经设备的运送轨道到达指定作 业区进行生产作业,作业完成后,再由机器自动放置进相同结构的承载料盒中,在相 关连续工序作业过程中,引线框架条均是被置于承载料盒中实现前后工序的传送,进 进出出时间较长,某些工序作业过程中和/或完成后还需要加热和/或烘烤固化,引线 框架条112通常是铜材料制成,例如为板状或条状,厚度在0.3mm以下(极薄的引 线框架条厚度可能仅有0.1mm),过于轻薄的特性使之在料盒运载过程中,极易产生 翘曲变形,某些工艺需要连同料盒一起加热固化,也会导致翘曲变形。
综上所述,现有技术中存在以下问题:现有的引线框架条或封装基板在半导体封装上 下料作业中容易产生翘曲变形。
实用新型内容
本实用新型提供一种半导体封装上下料承载装置,以解决现有的引线框架条或封装基 板在半导体封装上下料作业中容易产生翘曲变形的问题。
为此,本实用新型提出一种半导体封装上下料承载装置,所述半导体封装上下料承载 装置包括:
分隔设置的第一侧壁和第二侧壁;
安放引线框架条或封装基板的多对沟槽,间隔设置在所述第一侧壁和第二侧壁上,每 对沟槽包括:设置在所述第一侧壁上的第一沟槽、以及设置在所述第二侧壁上的第二沟槽; 每对沟槽支撑一个引线框架条或封装基板;
多对沟槽包括多个所述第一沟槽和多个所述第二沟槽,各所述第一沟槽相互间隔设置, 各所述第二沟槽相互间隔设置;多对沟槽支撑多个所述引线框架条或封装基板;
第一支撑件,连接在所述第一侧壁和第二侧壁之间,并且所述第一支撑件位于各所述 沟槽所在的平面之外。
进一步地,所述第一支撑件为支撑杆。
进一步地,所述第一侧壁和第二侧壁相互平行,所述半导体封装上下料承载装置还包 括:垂直连接在所述第一侧壁和第二侧壁之间的顶壁和底壁,顶壁和底壁相互平行,每对 所述沟槽所在的平面平行所述顶壁或底壁,所述支撑杆平行所述顶壁或底壁,每对所述沟 槽下方至少设有一个所述第一支撑件,并且各所述支撑杆垂直各所述沟槽。
进一步地,每个所述支撑杆包括:设置在所述第一侧壁上的第一连接部、设置在所述 第二侧壁上的第二连接部、以及连接在所述第一连接部和第二连接部之间的连接杆,所述 连接杆与所述第一连接部和第二连接部均铰接。
进一步地,所述半导体封装上下料承载装置还包括:铰接在所述第一侧壁和/或所述第 二侧壁上的第二支撑件,所述第二支撑件的长度小于所述第一侧壁和所述第二侧壁的间距, 所述第二支撑件的顶沿与所述第一沟槽和/或所述第二沟槽的底缘平齐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造