[实用新型]一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构有效
| 申请号： | 201620070162.7 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN205355018U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张俞 | 申请（专利权）人： | 张俞 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
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| 地址： | 226314 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 工艺 反应 结构 | ||
1.一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，包括腔体(3)；其特征是；
所述腔体(3)由不锈钢板材(31)、氧化铝镀层(32)、铝板(33)和陶瓷片(34)组成；不锈钢板材(31)表面喷涂有氧化铝镀层(32)，所述氧化铝镀层(32)表面覆盖可拆卸铝板(33)和陶瓷片(34)，所述铝板(33)和陶瓷片(34)通过铝合金紧固件(331)固定在氧化铝镀层(32)上；
所述腔体(3)的上端开设有工艺化学气体入口(1)和电性连接有RF射频电源(4)，在腔体(3)的上方内壁上固定有等离子喷射器(2)，所述等离子喷射器(2)的下方设置有导电载板(8)，在所述导电载板(8)与等离子喷射器(2)之间设置有等离子体(6)，导电载板(8)的上表面设置有刻蚀片(9)，导电载板(8)的底面电性连接有RF射频直流电源(5)，所述RF射频直流电源(5)的另一端接地；在所述腔体(3)的底面的左端连接有真空泵(7)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是：所述铝板(33)和陶瓷片(34)内部嵌入铝合金板。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是：所述RF射频电源(4)的另一端接有电容，通过电容接地。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是：所述腔体(3)的底面连接有接地线。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是：所述不锈钢板材(31)为奥氏体不锈钢材料制成。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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