[实用新型]一种干式真空机组

权利要求书

1.一种干式真空机组，其特征在于：所述干式真空机组包含有一级罗茨真空泵（3）、二级罗茨真空泵（4）和螺杆真空泵（8），干式真空机组的进气口通过管路连通至一级罗茨真空泵（3）的进气口，所述一级罗茨真空泵（3）的出气口通过管路连通至二级罗茨真空泵（4）的进气口，所述二级罗茨真空泵（4）的出气口经管路连通至螺杆真空泵（8）的进气口，所述螺杆真空泵（8）的出气口对外排气。

2.如权利要求1所述一种干式真空机组，其特征在于：所述一级罗茨真空泵（3）的进气口上串联有自动开关阀（1）和压力变送器（2）。

3.如权利要求1所述一种干式真空机组，其特征在于：所述二级罗茨真空泵（4）和螺杆真空泵（8）之间的管路上串联有冷却器（5）、温度变送器（6）和自动逆止阀（7）。

4.如权利要求1所述一种干式真空机组，其特征在于：所述螺杆真空泵（8）的出气口上串联有尾气回收捕集装置（9）和消声器（10）。

5.如权利要求1所述一种干式真空机组，其特征在于：上述一级罗茨真空泵（3）和二级罗茨真空泵（4）为气体循环冷却式罗茨真空泵。

6.如权利要求1或5所述一种干式真空机组，其特征在于：上述一级罗茨真空泵（3）和二级罗茨真空泵（4）的动密封为机械密封结构。

7.如权利要求4所述一种干式真空机组，其特征在于：所述尾气回收捕集装置（9）是由壳体、冷凝管、旋风导流板、过滤网构成。