[实用新型]气流控制装置

权利要求书

1.一种气流控制装置，其特征在于，包括气体输送构件和喷头；所述喷 头包括腔体和多个喷嘴；

所述腔体上设置有进口端，所述气体输送构件上设置有出口端，所述进 口端与所述出口端连通，所述喷嘴设置在所述腔体的外壳上远离所述进口端 的一侧，且均与所述腔体相通，每个所述喷嘴与所述出口端的轴心线均呈 0-90°的夹角设置，且所有所述喷嘴将气体喷射在基板平面的面积大于所述出 口端在所述平面的投影面积。

2.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，多个所述喷嘴围 绕所述轴心线呈多层环形分布。

3.根据权利要求2所述的气流控制装置，其特征在于，每层所述喷嘴与 所述轴心线之间的夹角均相等。

4.根据权利要求2所述的气流控制装置，其特征在于，每层所述喷嘴与 所述轴心线之间的夹角由内至外依次增大。

5.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，所述腔体的外壳 上远离所述进口端的一侧呈弧面，且所述轴心线穿过所述弧面的中心。

6.根据权利要求5所述的气流控制装置，其特征在于，所述喷头沿所述 轴心线的方向的截面呈扇形形状。

7.根据权利要求1-6中任一所述的气流控制装置，其特征在于，所述喷 头还包括挡片和支撑杆，所述支撑杆的一端与所述挡片连接；所述支撑杆的 另一端固定设置；

所述挡片设置在所述腔体内部，当所述挡片与所述出口端投影于同一基 板平面时，所述挡片的投影区域位于所述出口端的投影区域的中部。

8.根据权利要求7所述的气流控制装置，其特征在于，所述气流控制装 置还包括调节构件；所述支撑杆远离所述挡片的一端设有螺纹；所述调节构 件包括与所述支撑杆螺纹连接的螺母和开孔；

所述气体输送构件包括盖板和气体输送通道，所述气体输送通道设置在 所述盖板内部，所述出口端设置在所述盖板的底部，所述开孔设置在所述盖 板背离所述出口端的一侧，且与所述轴心线共轴设置；

所述支撑杆远离所述挡片的一端由所述气体输送通道穿过所述开孔，并 与所述螺母螺纹配合。

9.根据权利要求8所述的气流控制装置，其特征在于，所述调节构件还 包括密封垫片，所述密封垫片套设在所述支撑杆上，且位于所述螺母与所述 盖板的外壁之间。

10.根据权利要求9所述的气流控制装置，其特征在于，所述喷头与所 述盖板分开设置或者为一体化结构。