[实用新型]一种硅片夹紧装置

权利要求书

1.一种硅片夹紧装置，其特征在于，包括夹具盒以及固定连接于所述夹具盒的盖板，所述夹具盒上开设有容置槽以及设于所述容置槽一侧的开口槽，所述开口槽与所述容置槽贯通，所述盖板封闭所述容置槽。

2.根据权利要求1所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述夹具盒包括承载板、连接于所述承载板一端的底板以及连接于所述承载板两侧的侧板，所述承载板与所述底板形成所述容置槽，所述承载板与两所述侧板形成所述开口槽。

3.根据权利要求1所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述夹具盒包括承载板以及连接于所述承载板一端的底板，所述承载板以及所述底板形成所述容置槽，所述盖板包括主板以及连接于所述主板两侧的侧板，所述主板固定连接于所述底板，以封闭所述容置槽，所述两侧板固定连接于所述承载板，所述开口槽位于所述承载板以及所述两侧板之间。

4.根据权利要求2或3所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述开口槽与所述底板相对设置。

5.根据权利要求2或3所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述底板上开设有若干个漏沙孔，所述若干个漏沙孔沿所述底板的长度方向依次并排设置。

6.根据权利要求1所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述硅片夹紧装置还包括至少一个夹紧件，所述至少一个夹紧件设于所述盖板与所述夹具盒之间，以夹紧所述盖板与所述夹具盒。

7.根据权利要求6所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述夹紧件设于所述夹具盒上，所述盖板相对应所述夹紧件的位置处开设有通槽，所述夹紧件穿过所述通槽。

8.根据权利要求6所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述夹紧件为蝶形螺丝、螺栓或者螺杆。

9.根据权利要求1所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述容置槽以及所述开口槽均为方形槽。

10.根据权利要求1所述的硅片夹紧装置，其特征在于，所述开口内设置有保护片，所述保护片贴设于所述开口的内壁设置。