[实用新型]一种硅片夹紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片切割领域，尤其涉及一种硅片夹紧装置。

背景技术

目前业内在处理硅片边缘亮边或亮点时，通常采用砂纸研磨或碳化硅浆料研磨法来处理。由于这两种方案都只能单片处理，因此，效率较低。此外，这两种方案全程需要操作人员手持硅片来进行研磨，而硅片本身厚度较薄，并且没有设置其他固定装置来固定住硅片，故而当进行研磨时容易出现硅片断片的情况，造成损失。

实用新型内容

本实用新型所提供的一种硅片夹紧装置，能够固定硅片且防止硅片在研磨过程中出现断片的情况，有利于提高生产良率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片夹紧装置，所述硅片夹紧装置包括夹具盒以及固定连接于所述夹具盒的盖板，所述夹具盒上开设有容置槽以及设于所述容置槽一侧的开口槽，并且所述开口槽与所述容置槽贯通，所述盖板封闭所述容置槽。

其中，所述夹具盒包括承载板、连接于所述承载板一端的底板以及连接于所述承载板两侧的侧板，所述承载板与所述底板形成所述容置槽，所述承载板与两所述侧板形成所述开口槽。

其中，所述夹具盒包括承载板以及连接于所述承载板一端的底板，所述承载板以及所述底板形成所述容置槽，所述盖板包括主板以及连接于所述主板两侧的侧板，所述主板固定连接于所述底板，以封闭所述容置槽，所述两侧板固定连接于所述承载板，所述开口槽露出所述承载板以及所述两侧板之间。

其中，所述开口槽与所述底板相对设置。

其中，所述底板上开设有若干个漏沙孔，所述若干个漏沙孔沿所述底板的长度方向依次并排设置。

其中，所述硅片夹紧装置还包括至少一个夹紧件，所述至少一个夹紧件设于所述盖板与所述夹具盒之间，以夹紧所述盖板与所述夹具盒。

其中，所述夹紧件设于所述夹具盒上，所述盖板相对应所述夹紧件的位置处开设有通槽，所述夹紧件穿过所述通槽。

其中，所述夹紧件为蝶形螺丝、螺栓或者螺杆。

其中，所述容置槽以及所述开口槽均为方形槽。

其中，所述开口内设置有保护片，所述保护片贴设于所述开口的内壁设置。

本实用新型所提供的硅片夹紧装置通过在夹具盒上设置有容置槽以及位于容置槽一侧的开口槽，并且开口槽与容置槽贯通，然后将盖板封闭容置槽且露出开口槽，故而当进行研磨时，可将硅片放置于容置槽内，以达到固定硅片的目的，然后利用该开口槽来喷入砂子以达到对硅片进行研磨的目的。替代了现有的采用人工手持硅片进行研磨的方式，由于容置槽内可容置多片不同厚度的硅片，因此适用范围广且研磨效率较高；此外，利用该开口槽来喷入砂子进行研磨，而无需采用人工手持砂纸研磨，降低了操作人员的工作强度且不容易出现硅片断裂的情况，有利于提高硅片的生产良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的硅片夹紧装置的装配示意图；

图2是图1的另一视角的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的硅片夹紧装置的夹具盒的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为便于描述，这里可以使用诸如“在...之下”、“在...下面”、“下”、“在...之上”、“上”等空间相对性术语来描述如图中所示的一个元件或特征与另一个(些)元件或特征的关系。可以理解，当一个元件或层被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件或层时，它可以直接在另一元件或层上、直接连接到或耦接到另一元件或层，或者可以存在居间元件或层。