[实用新型]一种节水型芯片清洗装置

权利要求书

1.一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜(1)和进水管(2)，其特征是： 所述作业柜(1)上设置将作业柜(1)密封的排气罩(3)，所述排气罩(3)的 顶部设有上抽风口(4)，所述作业柜(1)内设置酸槽(5)和水槽(6)，所述 酸槽(5)的底部设置排酸管(7)，所述水槽(6)内设置喷雾槽(8)和冲水槽 (9)，所述喷雾槽(8)内设有喷雾头(10)，所述喷雾头(10)上设有第一进 水支管(11)，所述喷雾头(10)通过第一进水支管(11)与进水管(2)连通， 所述喷雾槽(8)的底部设有第一排水管(12)，所述冲水槽(9)内设有第二进 水支管(13)，所述冲水槽(9)通过第二进水支管(13)与进水管(2)连通， 所述冲水槽(9)的底部设置第二排水管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水 槽(9)内设有数个第一挡板(15)，所述第一挡板(15)由冲水槽(9)的底部 向冲水槽(9)的顶部延伸，且第一挡板(15)的有效高度小于冲水槽(9)的 侧壁高度，所述第一挡板(15)将冲水槽(9)隔开为相互连通的数个冲水槽(9)。

3.根据权利要求2所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水 槽(9)内还设有与第一挡板(15)相配合的第二挡板(16)，所述第二挡板(16) 位于第一挡板(15)远离第二进水支管(13)的一侧，所述第二挡板(16)由 冲水槽(9)的顶部向冲水槽(9)的底部延伸，且第二挡板(16)的底端位置 低于第一挡板(15)的顶端位置，所述第一挡板(15)与第二挡板(16)之间 形成水流通道，所述第一挡板(15)和第二挡板(16)将冲水槽(9)隔开为相 互连通的数个冲水槽(9)。

4.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述冲水 槽(9)内设置数个第三挡板(17)，所述第三挡板(17)将冲水槽(9)隔开为 互不连通的数个单独的冲水槽(9)，每个单独的冲水槽(9)内均设有第二进水 支管(13)和第二排水管(14)。

5.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述酸槽 (5)、喷雾槽(8)和冲水槽(9)内均设置芯片放置盘(18)，所述芯片放置盘 (18)上设有排水孔(19)。

6.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述水槽 (6)的底部设有总排水管(20)，所述总排水管(20)上设有总排水阀门(21)。

7.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述排酸 管(7)、第一进水支管(11)、第二进水支管(13)、第一排水管(12)、第二排 水管(14)上均设有阀门(22)。

8.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述排气 罩(3)的一侧还设有侧抽风口(23)。

9.根据权利要求1所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述作业 柜(1)的底部设置支腿(24)。

10.根据权利要求9所述的一种节水型芯片清洗装置，其特征是：所述支 腿(24)的底部设置万向轮(25)，所述万向轮(25)上设置制动闸(26)。