[实用新型]一种节水型芯片清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型主要涉及芯片清洗技术领域，具体是一种节水型芯片清洗装置。

背景技术

在半导体芯片制作过程中，芯片清洗的好坏直接决定芯片的质量。芯片清 洗所用的水必须为高级纯水，高级纯水的造价很高，为保证清洗质量，冲泡用 高纯水的消耗量很大，导致水源浪费和后续废水的处理成本较高。目前GPP芯 片生产过程中清洗环节冲水所采用的是浸泡冲水置换装置，就是芯片泡完化学 试剂后放入冲水槽中冲水，置换掉残留化学试剂和杂质离子等。这样的清洗装 置消耗的高级纯水量很大且冲水时间较长，浪费水资源，成本较高，工作效率 也较低。

实用新型内容

为了解决现有技术中的不足，本实用新型提供一种节水型芯片清洗装置， 将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽使用高纯水进行喷水清洗，可以 节约水资源，降低成本，还可以提高工作效率。

本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：

一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜和进水管，所述作业柜上设置将作 业柜密封的排气罩，所述排气罩的顶部设有上抽风口，所述作业柜内设置酸槽 和水槽，所述酸槽的底部设置排酸管，所述水槽内设置喷雾槽和冲水槽，所述 喷雾槽内设有喷雾头，所述喷雾头上设有第一进水支管，所述喷雾头通过第一 进水支管与进水管连通，所述喷雾槽的底部设有第一排水管，所述冲水槽内设 有第二进水支管，所述冲水槽通过第二进水支管与进水管连通，所述冲水槽的 底部设置第二排水管。

所述冲水槽内设有数个第一挡板，所述第一挡板由冲水槽的底部向冲水槽 的顶部延伸，且第一挡板的有效高度小于冲水槽的侧壁高度，所述第一挡板将 冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽。

所述冲水槽内还设有与第一挡板相配合的第二挡板，所述第二挡板位于第 一挡板远离第二进水支管的一侧，所述第二挡板由冲水槽的顶部向冲水槽的底 部延伸，且第二挡板的底端位置低于第一挡板的顶端位置，所述第一挡板与第 二挡板之间形成水流通道，所述第一挡板和第二挡板将冲水槽隔开为相互连通 的数个冲水槽。

所述冲水槽内设置数个第三挡板，所述第三挡板将冲水槽隔开为互不连通 的数个单独的冲水槽，每个单独的冲水槽内均设有第二进水支管和第二排水管。

所述酸槽、喷雾槽和冲水槽内均设置芯片放置盘，所述芯片放置盘上设有 排水孔。

所述水槽的底部设有总排水管，所述总排水管上设有总排水阀门。

所述排酸管、第一进水支管、第二进水支管、第一排水管、第二排水管上 均设有阀门。

所述排气罩的一侧还设有侧抽风口。

所述作业柜的底部设置支腿。

所述支腿的底部设置万向轮，所述万向轮上设置制动闸。

对比现有技术，本实用新型有益效果在于：

1、本实用新型将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽的喷水清洗， 可以节约水资源，降低成本，这样分步进行，经过喷雾清洗的芯片洁净度比较 高，在冲水槽内进行浸泡冲水清洗时所使用的高纯水就会较少，清洗的时间也 会较短，可以提高工作效率。

2、通过第一挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽，可以只设有一个 第二进水支管，即可将隔开的数个冲水槽都充满高纯水，节约成本。

3、通过第一挡板和第二挡板将冲水槽隔开为相互连通的数个冲水槽，在满 足只设有一个第二进水支管将隔开的数个冲水槽都充满水的情况下，可以阻挡 冲水槽内的高纯水相互流通，提高冲水槽内的洁净度。

4、由第三挡板将冲水槽隔开为互不连通的数个单独的冲水槽，可以满足分 槽清洗且不会使冲水槽内的清洗液相互污染。

5、芯片放置盘的设置便于芯片的放置清洗，且芯片放置盘上设有的排水 孔，方便清洗液的流走，使得芯片放置盘上不会积累清洗液，提高洁净度。

6、水槽的底部设有总排水管，便于水槽内积水的排出，且总排水管上设有 的总排水阀门，方便通过控制总排水管随时控制水槽内积水的排出或者积累。