[实用新型]晶圆固定装置及晶圆真空包装盒

权利要求书

1.一种晶圆固定装置，适于晶圆的放置及固定，其特征在于，所述晶圆固定装置包括：

托盘，所述托盘的表面设有多个等高的支撑柱；

圆环形压盖，位于所述托盘的上方，适于在所述晶圆放置于所述支撑柱上之后，压置于所述晶圆的正面。

2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述圆环形压盖的最小直径小于所述晶圆的直径，所述圆环形压盖的最大直径大于或等于所述晶圆的直径。

3.根据权利要求2所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述圆环形压盖环形部分的宽度小于3mm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述托盘的形状为圆环形，所述托盘的最小直径与所述圆环形压盖的最小直径相等，所述托盘的最大直径与所述圆环形压盖的最大直径相等。

5.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述支撑柱位于所述托盘环形部分的中心，且沿所述托盘的周向均匀分布。

6.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于：还包括连接杆，所述连接杆位于所述环形托盘的内侧，所述连接杆的表面设有多个等高的所述支撑柱。

7.根据权利要求6所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述支撑柱沿所述连接杆的长度方向均匀分布。

8.根据权利要求6所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述连接杆呈十字型分布或辐射状分布。

9.一种晶圆真空包装盒，其特征在于，所述晶圆真空包装盒包括：

壳体，所述壳体内形成有容纳腔，且所述壳体表面形成有连通所述容纳腔的开口；

盖体，扣置于所述壳体表面的开口上；

至少一个如权利要求1至8中任一项所述的晶圆固定装置，所述晶圆固定装置位于所述容纳腔内。

10.根据权利要求9所述的晶圆真空包装盒，其特征在于：所述晶圆固定装置的数量为多个，多个所述晶圆固定装置于所述壳体内上下平行排布。

11.根据权利要求9所述的晶圆真空包装盒，其特征在于：所述晶圆固定装置中的托盘固定于所述壳体的内壁上。

12.根据权利要求9所述的晶圆真空包装盒，其特征在于：所述晶圆真空包装盒还包括排气管道，所述排气管道的内部与所述壳体的所述容纳腔相连通，所述排气管道内设有活塞。

13.根据权利要求12所述的晶圆真空包装盒，其特征在于：所述排气管道的形状为L型，所述排气管道的一端垂直固定于所述壳体侧壁的外表面。