[实用新型]一种蒸发源系统

权利要求书

1.一种蒸发源系统，包括：蒸发源本体，嵌设在所述蒸发源本体上的至少一个坩埚，所述坩埚上方设置有一个或多个用于喷射出经加热而蒸发的待成膜材料的喷嘴，其特征在于，还包括：至少一个激光加热装置；

其中，所述激光加热装置用于在任意一个或多个喷嘴的温度低于预设阈值时，对所述一个或多个喷嘴进行加热处理，以使得所述一个或多个喷嘴的温度至少达到预设阈值，所述预设阈值为所述待成膜材料的熔融温度值。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：与每个喷嘴对应设置的温度传感器；

其中，所述温度传感器用于对相应的喷嘴的温度进行实时监控，并在温度低于预设阈值时，向所述激光加热装置发送加热信号；

所述激光加热装置具体用于在接收到所述加热信号时，对发送该加热信号的温度传感器对应的喷嘴进行加热处理，以使得所述喷嘴达到不易堵塞的温度。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述温度传感器还用于在所述激光加热装置对相应喷嘴进行加热一段时间后且该喷嘴的温度达到预设阈值时，向所述激光加热装置发送停止加热信号；

所述激光加热装置还用于在接收到所述停止加热信号时，停止对发送该停止加热信号的温度传感器对应的喷嘴进行加热处理。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述激光加热装置还用于在对相应喷嘴加热预设时长之后，停止对所述喷嘴进行加热处理。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述激光加热装置还用于，依次对各个喷嘴进行扫描，根据获取的频率信号确定温度低于预设阈值的喷嘴。

6.如权利要求1-5任一项所述的系统，其特征在于，所述激光加热装置包括一个激光器。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述激光器的方向固定，所述设备还包括：移动轴和支架，所述激光加热装置设置在所述移动轴上，所述移动轴架设在所述支架上；

所述激光加热装置在接收到所述加热信号之后，且对发送该加热信号的温度传感器对应的喷嘴进行加热处理之前，还用于通过调整自身在所述移动轴延伸方向的位置以及调整所述移动轴在所述支架延伸方向的位置，使得所述激光加热装置开启激光器后发射的激光光束照射到所述喷嘴上。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述激光器的方向可调，所述设备还包括：支架，所述激光加热装置固定在所述支架的中间位置；

所述激光加热装置在接收到所述加热信号之后，且对发送该加热信号的温度传感器对应的喷嘴进行加热处理之前，还用于通过调整所述激光加热装置中激光器的角度，使得所述激光加热装置开启激光器后发射的激光光束照射到所述喷嘴上。

9.如权利要求7或8所述的系统，其特征在于，所述支架固定在所述蒸发源本体上，或者，所述支架固定在所述蒸发源设备所在的真空腔室的内壁。

10.如权利要求1-5任一项所述的系统，其特征在于，所述激光加热装置包括与各个喷嘴具有一一对应关系的多个激光器，每个激光器开启后发射的激光光束能够照射到相对应的喷嘴上。