[实用新型]直写式曝光机中用于激光一分N的系统有效

专利信息
申请号: 201620549857.3 申请日: 2016-06-08
公开(公告)号: CN206270650U 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 杨文 申请(专利权)人: 江苏影速光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 徐州市三联专利事务所32220 代理人: 周爱芳
地址: 221600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 直写式 曝光 用于 激光 一分 系统
【权利要求书】:

1.一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,包括:

单个激光器以及n个分光单元;

其中,分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜;

所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上,一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元,进而实现一束光源一分N束。

2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的单个激光器与初始分光单元之间设有可旋转玻片,通过旋转玻片实现光束的均匀性。

3.根据权利要求2所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的每两个分光单元的分光镜之间均设有玻片。

4.根据权利要求3所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的激光器为高功率可调激光器。

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