[实用新型]直写式曝光机中用于激光一分N的系统有效
申请号: | 201620549857.3 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN206270650U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 杨文 | 申请(专利权)人: | 江苏影速光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人: | 周爱芳 |
地址: | 221600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 直写式 曝光 用于 激光 一分 系统 | ||
1.一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,包括:
单个激光器以及n个分光单元;
其中,分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜;
所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上,一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元,进而实现一束光源一分N束。
2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的单个激光器与初始分光单元之间设有可旋转玻片,通过旋转玻片实现光束的均匀性。
3.根据权利要求2所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的每两个分光单元的分光镜之间均设有玻片。
4.根据权利要求3所述的一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,所述的激光器为高功率可调激光器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏影速光电技术有限公司,未经江苏影速光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620549857.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双面曝光机的自动调焦系统
- 下一篇:直写式曝光机光源系统