[实用新型]柔性电路板曝光装置有效
申请号: | 201620549862.4 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN206272962U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 茆晓华 | 申请(专利权)人: | 江苏影速光电技术有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人: | 周爱芳 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 电路板 曝光 装置 | ||
1. 一种柔性电路板曝光装置,其特征在于,包括曝光平台(2)和曝光光路(1),曝光平台(2)为roll to roll平台,曝光光路(1)设置在曝光平台(2)的上方,曝光光路(1)由排成一列的子光路组成,子光路包括支撑板(6)、二维震镜(3)、激光器(4)和f-theta镜(5),二维震镜(3)、激光器(4)和f-theta镜(5)均设置在支撑板(6)上,两个二维震镜(3)设置在支撑板(6)的一侧,激光器(4)设置在其中一个二维震镜(3)的上方,f-theta镜(5)设置在支撑板(6)的一侧,位置与另一个二维震镜(3)对应。
2.根据权利要求1所述的一种柔性电路板曝光装置,其特征在于,所述曝光平台(2)两侧设置传动装置。
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