[实用新型]柔性电路板曝光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曝光装置，具体涉及一种柔性电路板曝光装置。

背景技术

直写式曝光技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式曝光技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。利用该技术可以缩短工艺流程，并降低生产成本。目前市场上主流的直写式曝光机大多以单工件台方式进行扫描曝光，先将被曝光工件的A面曝光完成后，再进行翻版，然后对B面进行曝光。在单工件台系统中，用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。依据目前的结构系统，各操作流程均已经达到耗时的上限，很难再缩短某个操作步骤的操作时间，即单工件台的直写式曝光机由于各操作流程的串行性质，已很难再提高产能，柔性电路板受其特性限制，曝光效率低。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种柔性电路板曝光装置，曝光简便、高效，大大提高曝光速度和曝光质量。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种柔性电路板曝光装置，包括曝光平台和曝光光路，曝光平台为roll to roll平台，曝光光路设置在曝光平台的上方，曝光光路由沿着柔性电路板传动方向排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f-theta镜，二维震镜、激光器和f-theta镜均设置在支撑板上，两个二维震镜设置在支撑板的一侧，激光器设置在其中一个二维震镜的上方，f-theta镜设置在支撑板的一侧，位置与另一个二维震镜对应。

所述曝光平台两侧设置传动装置。

本实用新型的有益效果为：利用二维震镜将激光器发出的激光反射，反射光随着两个震镜相互配合震动，完成二维扫描；经过二维震镜的光最后由f-theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上，曝光平台将柔性电路板展开并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平台上全部面板的曝光，曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台上，并以此循环。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、曝光光路，2、曝光平台，3、二维震镜，4、激光器，5、f-theta镜，6、支撑板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，本柔性电路板曝光装置，包括曝光平台2和曝光光路1，曝光平台2为roll to roll平台，曝光光路1设置在曝光平台2的上方，曝光光路1由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板6、二维震镜3、激光器4和f-theta镜5，二维震镜3、激光器4和f-theta镜5均设置在支撑板6上，两个二维震镜3设置在支撑板6的一侧，激光器4设置在其中一个二维震镜3的上方，f-theta镜5设置在支撑板6的一侧，位置与另一个二维震镜3对应，曝光平台2两侧设置传动装置。

利用二维震镜3将激光器4发出的激光反射，反射光随着两个二维震镜3相互配合震动，完成二维扫描；经过二维震镜的光最后由f-theta镜5汇聚到曝光平台2上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台2上，曝光平台2将柔性电路板展开并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平台2上全部面板的曝光，曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台2上，并以此循环。

Roll-to-Roll技术是指挠性覆铜板通过成卷连续的方式进行FPC制作的工艺技术。采用Roll-to-Roll生产工艺，不仅能提高生产率，而更重要的是提高自动化程度。这种高自动化的生产明显地减少了人为操作和管理因素，受环境条件(温度、湿度洁净度等)影响变化小，因而具有更均匀一致而稳定的尺寸偏差，从而也易于进行修正和补偿，所以它具有更高的产品合格率、质量和可靠性。