[实用新型]ESD保护电路用半导体装置有效
申请号: | 201620820392.0 | 申请日: | 2014-02-25 |
公开(公告)号: | CN206250192U | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 中矶俊幸;加藤登 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 舒艳君,李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | esd 保护 电路 半导体 装置 | ||
1.一种ESD保护电路用半导体装置,其特征在于,具备:
形成在俯视时矩形状的半导体基板内的第一二极管以及第二二极管;
分别形成在所述半导体基板的表面的第一输入输出电极以及第二输入输出电极,所述第一输入输出电极与所述第一二极管的一端连接,所述第二输入输出电极与所述第二二极管的一端连接;以及
分别形成于设置在所述半导体基板的表面的再布线层并经由第一接触孔与所述第一输入输出电极连接的第一布线电极、以及经由第二接触孔与所述第二输入输出电极连接的第二布线电极,
所述第一输入输出电极以及所述第二输入输出电极分别沿着所述俯视时矩形状的半导体基板的第一方向被配置在中央部分,
所述第一布线电极在俯视时从与所述第一输入输出电极重叠的区域向所述矩形状的半导体基板的与所述第一方向正交的第二方向迂回成L字形,并且,
所述第一布线电极在俯视时与形成有所述第一二极管的区域重叠,与形成有所述第二二极管的区域不重叠,
所述第二布线电极在俯视时从与所述第二输入输出电极重叠的区域向所述俯视时矩形状的半导体基板的所述第二方向迂回成L字形,并且,
所述第二布线电极在俯视时与形成有所述第二二极管的区域重叠,与形成有所述第一二极管的区域不重叠,
所述第一布线电极的一部分作为ESD保护器件的第一输入输出端被利用,所述第二布线电极的一部分作为第二输入输出端被利用。
2.根据权利要求1所述的ESD保护电路用半导体装置,其特征在于,
在形成有包括所述第一二极管、所述第二二极管以及齐纳二极管的ESD保护电路的、所述俯视时矩形状的半导体基板,设置有包括第一树脂层和形成于第一树脂层的第二树脂层多个树脂层的再布线层,
在所述第二树脂层中的、与作为所述ESD保护器件的输入输出端的第一布线电极和第二布线电极的一部分对置的部分形成有矩形状的开口。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的