[实用新型]一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统

权利要求书

1.一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有一台管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

2.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。

3.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

4.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

5.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述阀门为气动球阀。

6.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。

7.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。

8.根据权利要求1、3和4中任意一项所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述管道罗茨泵上下采用快卸法兰连接。

9.一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述粗真空管道，并在连接处分别装设有阀门。

10.一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述高真空管道，并在连接处分别装设有阀门和管道罗茨泵。