[实用新型]一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多台多晶硅炉的真空系统控制技术领域，尤其涉及一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，具体地，是一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统、一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。

背景技术

目前市场上的多晶硅炉真空系统采用的是一套真空泵拖一套多晶硅炉的“一拖一”的真空应用，这种方式在作为新兴行业的太阳能多晶硅生产的早期是正常的，其与早期一家一户的取暖炉、一个房间一个房间的窗式空调都是一个概念。但是随着行业发展和市场竞争，一拖一模式所产生的各个问题逐渐显现：

1、可靠性问题：当任何一台真空泵出现运行或维护问题时，该炉的使用就要中断；

2、没有集中共用资源，在总体系统可靠性并非最优的情况下，设备总投资过大，而且营运成本也过高；

3、真空泵总数多，使得维护保养工作量大，对生产影响大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，解决现有系统中一套真空泵拖一套多晶硅炉的耗能耗时的真空应用问题。

为了实现以上目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

进一步地，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。

进一步地，每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵和手动蝶阀然后与所述高真空子系统连接。

进一步地，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

进一步地，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

进一步地，所述阀门为气动球阀。

考虑到设备的最佳优化情况，进一步地，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。这一技术特征，使得滑阀泵的总配置数大大减小，进一步地减小了设备投入资金。

优选地，所述低真空子系统中的至少一台所述2#滑阀泵单独存在，即至少一台所述2#滑阀泵仅与所述粗真空管道连接而不通过所述三通阀与所述高真空管道连接。

进一步地，所述管道罗茨泵上下采用快卸法兰连接，可以迅速替换。

进一步地，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。

当然，上述技术方案均是将高真空和低真空系统集合在一个中央系统中，事实上，根据需要，可以直接将其拆分为两个系统，具体地：

一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述粗真空管道，并在连接处分别装设有阀门。

一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述高真空管道，并在连接处分别装设有阀门和管道罗茨泵。

其中，上述所述的阀门可以为气动球阀。