[实用新型]一种样品表面照明光斑位置监测光路有效
| 申请号： | 201620903538.8 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN206192274U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 样品 表面 照明 光斑 位置 监测 | ||
1.一种样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述样品表面照明光斑位置监测光路包括：
光源，所述光源斜入射至所述样品表面，部分光自所述样品表面射回空气中，形成反射光；
反射镜，所述反射镜接收所述反射光，并改变所述反射光的传输方向；
位置探测器，所述位置探测器接收所述反射镜改变传输方向后的反射光。
2.如权利要求1所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述反射镜为多个，所述多个反射镜平行放置；
所述多个反射镜用于对所述反射光的传输方向进行多次改变，使所述反射光能传递至三维空间内指定的位置。
3.如权利要求1所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述反射镜为全反镜。
4.如权利要求1所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述样品表面照明光斑位置监测光路还包括：
反射光回收模块；
分束器，所述分束器和所述反射镜平行放置；所述分束器对所述反射镜改变传输方向后的反射光进行分束，形成两路光束；一路光束经所述分束器后反射至所述位置探测器，另一路光束经所述分束器后透射至所述反射光回收模块。
5.如权利要求4所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述位置探测器接收到的，来自所述分束器反射的光束的功率为第一功率；所述反射光回收模块接收到的，来自所述分束器透射的光束的功率为第二功率；
所述第一功率小于所述第二功率。
6.如权利要求4所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述反射光回收模块为光阱。
7.如权利要求1所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述光源为激光器。
8.如权利要求1所述的样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述光源以会聚的方式照射至样品表面时，所述样品表面照明光斑位置监测光路还包括会聚透镜，所述会聚透镜排布在所述反射镜后；
所述会聚透镜调整入射至所述位置探测器平面上光斑的尺寸。
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