[实用新型]一种样品表面照明光斑位置监测光路

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学技术领域，尤其涉及一种样品表面照明光斑位置监测光路。

背景技术

样品表面光斑照明位置监测是许多光学检测仪器的必要组成部分，照明位置监测应根据仪器本身光路设计实现。目前大部分仪器的照明位置监测主要采用直接探测照明区域散射光的形式实现，这种方式具有以下问题：该方案直接收集照明区域内发射出来的散射光，利用位置探测器测量其位置，由于照明区域散射射光往往包含需要收集的信号光，人们通常利用激光分束器分出部分收集光进行位置探测。此方案能够直接得到照明光位置，但由于它取出了照明区域发出的部分光，可能导致探测信号的减弱；甚至当样品表面非常光滑时，照明区域的散射光非常弱，光电探测器也无法探测到。如：对于利用光散射测量晶圆表面缺陷的光学检测仪器，当且仅当照明区域存在缺陷时照明区域才会发出较强散射光，若采用此方案，位置探测器大部分时间将探测不到任何信号。

实用新型内容

本申请实施例通过提供一种样品表面照明光斑位置监测光路，解决了现有技术中通过直接探测照明区域散射光的方法实现样品表面照明光斑位置监测时，探测信号减弱或无法探测到信号的问题。

本申请实施例提供一种样品表面照明光斑位置监测光路，包括：光源，所述光源斜入射至所述样品表面，部分光自所述样品表面射回空气中，形成反射光；反射镜，所述反射镜接收所述反射光，并改变所述反射光的传输方向；位置探测器，所述位置探测器接收所述反射镜改变传输方向后的反射光。

优选的，所述反射镜为多个，所述多个反射镜平行放置；所述多个反射镜用于对所述反射光的传输方向进行多次改变，使所述反射光能传递至三维空间内指定的位置。

优选的，所述反射镜为全反镜。

优选的，所述样品表面照明光斑位置监测光路还包括：反射光回收模块；分束器，所述分束器和所述反射镜平行放置；所述分束器对所述反射镜改变传输方向后的反射光进行分束，形成两路光束；一路光束经所述分束器后反射至所述位置探测器，另一路光束经所述分束器后透射至所述反射光回收模块。

优选的，所述位置探测器接收到的，来自所述分束器反射的光束的功率为第一功率；所述反射光回收模块接收到的，来自所述分束器透射的光束的功率为第二功率；所述第一功率小于所述第二功率。

优选的，所述反射光回收模块为光阱。

优选的，所述光源为激光器。

优选的，所述光源以会聚的方式照射至样品表面时，所述样品表面照明光斑位置监测光路还包括会聚透镜，所述会聚透镜排布在所述反射镜后；所述会聚透镜调整入射至所述位置探测器平面上光斑的尺寸。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

在本申请实施例中，通过探测样品表面反射光的位置间接得到样品表面照明光斑位置，避免了探测信号的减弱，并适用于样品散射极弱的情况。

进一步的，在本申请实施例中，由于表面较粗糙的样品反射光强度也较强，因此对样品表面粗糙度的要求较低。

进一步的，在本申请实施例中，位置探测器可位于样品下方，使仪器的空间设计更具灵活性。

进一步的，在本申请实施例中，将样品表面照明光斑位置监测与反射光回收模块相结合，既节省了仪器空间，又不会损失有用的信号光。

附图说明

为了更清楚地说明本实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的位置探测器得到的光斑偏离与样品表面光斑偏离的对应关系；

图2为本实用新型实施例提供的一种样品表面照明光斑位置监测光路的结构示意图。

其中，1-光源，2-反射镜，3-位置探测器，4-分束器，5-反射光回收模块。

具体实施方式

本申请实施例通过提供一种样品表面照明光斑位置监测光路，解决了现有技术中解决了现有技术中通过直接探测照明区域散射光的方法实现样品表面照明光斑位置监测时，探测信号减弱或无法探测到信号的问题。

本申请实施例的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下：

一种样品表面照明光斑位置监测光路，包括：光源，所述光源斜入射至所述样品表面，部分光自所述样品表面射回空气中，形成反射光；反射镜，所述反射镜接收所述反射光，并改变所述反射光的传输方向；位置探测器，所述位置探测器接收所述反射镜改变传输方向后的反射光。