[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(7)，在所述衬底(7)上设置有由振膜(1)和背极构成的平板电容器结构；所述背极包括悬空在背腔上方的背极主体(3)，以及位于背极主体(3)边缘并与所述背极主体(3)一体成型的连接部(4)；在所述连接部(4)的下方设置有第一补强部(5)，所述连接部(4)沉积在第一补强部(5)的上方，且所述背极主体(3)的上端面与所述第一补强部(5)的上端面齐平，所述背极主体(3)的下端面与所述第一补强部(5)的下端面齐平。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述平板电容器结构为背极在上、振膜(1)在下的电容器结构。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述平板电容器结构为背极在下、振膜(1)在上的电容器结构。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一补强部(5)与背极的材料相同。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一补强部(5)与背极的材料不同，所述第一补强部(5)采用氮化硅材料。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背极的厚度为0.1um至3um，所述第一补强部(5)的厚度为0.1um至20um。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一补强部(5)从背极的连接部(4)延伸至背极主体(3)上。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一补强部(5)从背极的连接部(4)延伸至背极主体(3)上；在所述背极的整个上端面还沉积有第二补强部(8)。