[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种MEMS麦克风，更准确地说，涉及MEMS麦克风中的背极结构。

背景技术

MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件，振膜、背极板构成了电容器并集成在硅晶片上，实现声电的转换。

传统的振膜的制作工艺是在硅基底上做一层氧化层，然后在氧化层上利用沉积的方式制作一层振膜，经过掺杂、回火后，蚀刻出所所需的图形，振膜通过其边缘的铆钉点固定在基底上。当然，还需要从振膜上引出电极，通过振膜的振动，改变振膜与背极板之间的距离，从而将声音信号转换为电信号。

MEMS麦克风有相关的结构强度要求，比如机械冲击、吹气、跌落等性能要求，在这些结构强度的相关性能测试时，往往会在背极的脆弱点发生撕裂问题，造成整个麦克风的报废。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供了一种MEMS麦克风。

根据本实用新型的一个方面，提供一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极构成的平板电容器结构；所述背极包括悬空在背腔上方的背极主体，以及位于背极主体边缘并与所述背极主体一体成型的连接部；在所述连接部的下方设置有第一补强部，所述连接部沉积在第一补强部的上方，且所述背极主体的上端面与所述第一补强部的上端面齐平，所述背极主体的下端面与所述第一补强部的下端面齐平。

可选的是，所述平板电容器结构为背极在上、振膜在下的电容器结构。

可选的是，所述平板电容器结构为背极在下、振膜在上的电容器结构。

可选的是，所述第一补强部与背极的材料相同。

可选的是，所述第一补强部与背极的材料不同，所述第一补强部采用氮化硅材料。

可选的是，所述背极的厚度为0.1um至3um，所述第一补强部的厚度为0.1um至20um。

可选的是，所述第一补强部从背极的连接部延伸至背极主体上。

可选的是，所述第一补强部从背极的连接部延伸至背极主体上；在所述背极的整个上端面还沉积有第二补强部。

本实用新型的MEMS麦克风，在所述背极的连接部位置形成了对连接部进行结构补强的第一补强部，从而提高了背极连接部的机械强度，避免了撕裂问题的发生，提高了麦克风机械跌落时的可靠性。而且所述连接部位于第一补强部的上方，与连接部一体成型的背极主体与补强部的两个端面齐平，由此可提高背极与第一补强部结合的稳定性。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例，并且连同说明书一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本实用新型MEMS麦克风第一实施结构的示意图。

图2是本实用新型MEMS麦克风第二实施结构的示意图。

图3是本实用新型MEMS麦克风第三实施结构的示意图。

图4是本实用新型MEMS麦克风第四实施结构的示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底7，在所述衬底7上设置有由振膜和背极构成的平板电容器结构。所述背极包括悬空在背腔上方的背极主体3，以及位于背极主体3边缘并与所述背极主体3一体成型的连接部4。所述连接部4和背极主体3是一体的结构，通过沉积的方式同时形成。所述背极通过该连接部4与衬底7直接或间接地连接在一起。