[实用新型]一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备有效
| 申请号： | 201621043632.7 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN206209293U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 熊启龙;鄢红军 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518057 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 配合 显影 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备，其特征在于包括可以装载掩膜版并且能够进行自身旋转的旋转载盘和两根具有朝自身长度方向延伸的狭缝出液臂，所述狭缝出液臂能够移动至所述旋转载盘的上方任意位置；所述狭缝出液臂朝向旋转载盘的一侧安装狭缝列阵，所述狭缝列阵由若干个狭缝组成。
2.如权利要求1所述的一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备，其特征在于，所述每一个狭缝直径为1～10mm，狭缝圆间距为1～10mm。
3.如权利要求1所述的一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备，其特征在于，所述旋转载盘具有支撑旋转轴。
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