[实用新型]一种适用于管式PECVD的石墨舟

权利要求书

1.一种适用于管式PECVD的石墨舟，包括石墨舟舟片(1)，所述石墨舟舟片(1)上沿所述石墨舟舟片(1)的长度方向间隔开设有复数个卡槽(2)，其特征在于，每个所述卡槽(2)的外边缘均设置有用于放置硅片(6)的卡点，所述卡点包括位于所述卡槽(2)的一侧部的第一卡点(3)、位于所述卡槽(2)的另一侧部的第二卡点(4)及位于所述卡槽(2)的底部的第三卡点(5)，其中，

所述第一卡点(3)位于区域d，所述区域d为所述第一卡点(3)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，3/4]之间的区域；

所述第二卡点(4)位于区域c，所述区域c为所述第二卡点(4)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，1)之间的区域；

所述第三卡点(5)位于区域b，所述区域b为所述第三卡点(5)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的[1/2，1)之间的区域。

2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，

所述第二卡点(4)位于所述第二卡点(4)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，3/4]之间的区域；

所述第三卡点(5)位于所述第三卡点(5)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的[1/2，3/4]之间的区域。

3.根据权利要求1或2所述的石墨舟，其特征在于，

所述第三卡点(5)位于所述第三卡点(5)对应的所述硅片(6)的底边的边长a的1/2位置处。

4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，

所述第一卡点(3)和所述第二卡点(4)分别位于所述硅片(6)的两个侧边的同一高度位置处，以使所述第一卡点(3)、所述第二卡点(4)及所述第三卡点(5)依次连接后形成等腰或等边三角形。

5.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，

所述卡点还包括位于所述卡槽(2)的底部的第四卡点(7)，

所述第四卡点(7)位于区域h，所述区域h为所述第四卡点(7)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的(0，1/2]之间的区域。

6.根据权利要求5所述的石墨舟，其特征在于，

所述第二卡点(4)位于所述第二卡点(4)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，3/4]之间的区域。

7.根据权利要求5或6所述的石墨舟，其特征在于，

所述第三卡点(5)位于所述第三卡点(5)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的[5/8，7/8]之间的区域；

所述第四卡点(7)位于所述第四卡点(7)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的[1/8，3/8]之间的区域。

8.根据权利要求7所述的石墨舟，其特征在于，

所述第一卡点(3)和所述第二卡点(4)分别位于所述硅片(6)的两个侧边的同一高度位置处，所述第三卡点(5)和所述第四卡点(7)分别对称设置于所述硅片(6)的底边的中点的两侧，以使所述第一卡点(3)、所述第二卡点(4)、所述第三卡点(5)及所述第四卡点(7)依次连接后形成等腰梯形。

9.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述卡点与所述石墨舟舟片(1)为一体式结构。