[实用新型]吸嘴装置有效
申请号: | 201621110260.5 | 申请日: | 2016-10-10 |
公开(公告)号: | CN206225343U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 钱国镇 | 申请(专利权)人: | 勤辉科技股份有限公司;钜颖企业有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京寰华知识产权代理有限公司11408 | 代理人: | 林柳岑,穆文通 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种吸嘴装置,其特征在于,包含:
一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成一定位凹槽;以及
一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成一环形的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,且该吸嘴的底部凸伸出该夹座,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,所述通孔连通该气流道。
2.根据权利要求1所述的吸嘴装置,其特征在于,该夹座包含一基板、一组接部及一侧壁,该组接部形成于该基板的顶面,该侧壁环设于该基板的外围,并凸伸出该基板的底面,所述通气孔形成于该组接部的顶端,并贯通该基板,所述气流道形成于该基板的底面,所述定位凹槽形成于该侧壁的内侧面。
3.一种吸嘴装置,其包含:
一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成多个间隔排列的定位凹槽;以及
一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成多个间隔排列的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,且该吸嘴的底部凸伸出该夹座,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,所述通孔连通该气流道。
4.根据权利要求3所述的吸嘴装置,其特征在于,该夹座包含一基板、一组接部及一侧壁,该组接部形成于该基板的顶面,该侧壁环设于该基板的外围,并凸伸出该基板的底面,所述通气孔形成于该组接部的顶端,并贯通该基板,所述气流道形成于该基板的底面,所述定位凹槽形成于该侧壁的内侧面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造